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-> Resultados e Discussões<br />	Diferença entre bandas 2D e G indicam presença de grafeno<br />Curva Lorentziana<br />Amo...
-> Resultados e Discussões<br />                   EDX<br />confirma presença de Cu<br />
-> Resultados e Discussões<br />-> Condições dos filme de cobre(450nm e 100nm) depositados sobre quartzo<br /> -> 100nm – ...
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-> Resultados e Discussões<br />͸ Amostra caracterizada sob as condições extremas da CVD.<br />450nm<br />100nm<br />͸ Pre...
-> Resultados e Discussões<br />͸ Presença de rugas<br />   -> Motivo: estresse induzido pela ruptura da folha de grafeno<...
-> Resultados e Discussões<br />͸ Observa-se nas imagens a descontinuidade da camada de ~ 1-2 camadas de grafeno.<br />
-> Conclusão<br />͸  Embora alguns defeitos encontrados, devido a:<br />-> Alteração na morfologia do metal<br />-> Redepo...
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Grafeno em substratos dielétricos

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Resumo do artigo de referencia:

A. Ismach, C. Druzgalski, S. Penwell, A. Schwartzberg, M. Zheng,
A. Javey, J. Bokor and Y. Zhang, Nano Lett., 2010, 10, 1542.

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Grafeno em substratos dielétricos

  1. 1. DeposiçãoQuímica de Vapor Direta de Grafeno emSuperfíciesDielétricas(Direct Chemical Vapor Deposition ofGraphene on Dielectric Surfaces)<br />Richard Eloy de Sant’Anna<br />10/08/2001<br />
  2. 2. -> Introdução<br />͸ Redução da folha<br />͸ Semicondutores de nanofitas de grafeno <br /> ⊸ Alto desempenho em transistores de efeito de campo.<br />͸ A aplicação baseada em suas propriedades eletrônicas<br /> ⊸ Filmes de camada única e uniformes<br /> ⊸ Sobre substratos dielétricos<br /> ⊸ Grande escala<br />͸ CVD <br />
  3. 3. -> Análise Experimental<br />͸ No processo de CVD temos:<br /> -> Temperatura durante o crescimento de 1000°C<br /> -> Baixa pressão (100-500 mTorr),<br /> -> Atmosfera com 35cm³ de H2 (99,999% Airgas) fluindo durante o aquecimento<br />-> Atmosfera durante o crescimento: fluxo composto de H2(2cm³) e CH4(35cm³; 99,99% Airgas). <br /> -> O sistema foi resfriado sob um fluxo de 35cm³ de H2.<br />͸ A evaporação significativa do metal não é surpreendente.<br />-> PF Cu (~1084°C)<br />
  4. 4. -> Análise Experimental<br />͸ Durante o experimento usaram-se: <br /> -> Evaporador por feixe de elétrons(Edwards)<br /> -> Filmes de Cu de 100nm a 450nm de espessura<br /> -> Variedade de substratos:<br /> -> quartzo (Hoffman Materiais LLC)<br /> -> safira (monocristal PLC)<br /> -> placa de silício (Addison--------------- ------------------------Engineering Inc.)<br /> -> sílica fundida. <br />
  5. 5. -> Análise Experimental<br />͸ Tempo de cada amostra entre 15min e 7hrs<br /> -> efeito espessura<br /> -> tipo de substrato<br /> -> tempo de crescimento<br />
  6. 6. -> Análise Experimental<br />͸ Caracterização:<br />-> Espectroscopia Raman e de imagem(WITec com um laser verde - 532nm).<br />-> Espectroscopia dipersiva de raio-X(EDX)<br />-> Microscopia eletrônica de varredura (MEV -Zeiss Gémeos Ultra-55)<br />-> Microscopia óptica<br />-> Microscopia de força atômica(AFM - modo Tapping; Digital Instruments 3000)<br />
  7. 7. -> Resultados e Discussões<br /> Diferença entre bandas 2D e G indicam presença de grafeno<br />Curva Lorentziana<br />Amostra com filme de cobre de 450nm após 2hr em quartzo <br />
  8. 8. -> Resultados e Discussões<br /> EDX<br />confirma presença de Cu<br />
  9. 9. -> Resultados e Discussões<br />-> Condições dos filme de cobre(450nm e 100nm) depositados sobre quartzo<br /> -> 100nm – a instabilidade do Cobre é visível em menos de 15min, onde já esta partido em pedaços micrométricos. Evaporação total após 5hrs de crescimento.<br />-> 450nm – aos 15min observa-se áreas continuas de Cu, após 2hrs de crescimento o filme se quebra completamente. A evaporação do metal ocorre 5hrs após a quebra<br />
  10. 10. -> Resultados e Discussões<br />* (7hr)<br />
  11. 11. -> Resultados e Discussões<br />͸ Amostra caracterizada sob as condições extremas da CVD.<br />450nm<br />100nm<br />͸ Presença de grafeno apenas nos pontos indicados.<br />͸ Banda D maior<br />
  12. 12. -> Resultados e Discussões<br />͸ Presença de rugas<br /> -> Motivo: estresse induzido pela ruptura da folha de grafeno<br />͸ Detector Inlens<br /> -> Sensível a carga de elétrons<br /> ͸ Detector de Elétron Secundário<br /> -> Sensível a topografia <br />
  13. 13. -> Resultados e Discussões<br />͸ Observa-se nas imagens a descontinuidade da camada de ~ 1-2 camadas de grafeno.<br />
  14. 14. -> Conclusão<br />͸ Embora alguns defeitos encontrados, devido a:<br />-> Alteração na morfologia do metal<br />-> Redeposição do metal sobre o grafeno devido as condições extremas da CVD<br /> os resultados foram motivadores. <br /> ͸ Pequenos ajustes no processo de evaporação e dispersão.<br /> ͸ Padrão em grande escala para a fabricação de dispositivos eletrônicos.<br />

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