1. Work Flow of an Inspection Procedure
P o w e r-u p F in e p o s it io n
e q u ip m e n t e le c tr o n ic g a g e to o l
t o z e r o a m p lif ie r
( X - d ir e c t io n )
S e t u p w a v e p la t e
1
o n p la t f o r m .
0 'e d o n 4 µ m N o
R e d u c e ra n g e o f
ra n g e ? a m p lif ie r
S e t u p a lig n m e n t
to o l n e x t to w a v e
p la t e Yes
W A R N IN G ! W A R N IN G !
D O N O T A P P L Y E X C E S S IV E D O N O T A P P L Y E X C E S S IV E
P R E S S U R E O N C a F2 M A T E R IA L S . P R E S S U R E O N C a F2 M A T E R IA L S .
M e a s . h e ig h t
edge 1
F in d u p p e r b e v e l F in d lo w e r b e v e l
ru n -o u t ru n -o u t
( + Z - d ir e c t io n ) ( - Z - d ir e c t io n )
M e a s . h e ig h t
edge 2
W a v e p la t e
N o A d ju s t M ic r o m e t e r
le v e l? T O T A L R U N -O U T
Yes
2 n d e d g e s u rf. N o 1
c o m p le t e ?
A ccess M anual
C o n tro l S c re e n o n
D P S C o n t r o lle r .
Yes
EN D
C o a r s e p o s it io n
e le c t r o n ic g a g e t o o l
R E Q U IR E D :
T h e e d g e ru n -o u t m u st b e
e v a lu a te d fo r a t le a st 2
e d g e su r fa c e s in a n y w a v e
p la te .
Prepared by: Paul F. Geer
Date: 9/18/01