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                                     ¡]¤ å ^                    2006 ¦~°ê»Ú§Mª÷Áὤ»PÁ¡½¤¾Ç³N¬ã°Q·|
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                                     ¡]-^¤å                     International Conference on Metallurgical Coatings and Thin
                                                                Films (ICMCTF 2006)
                                     ¡]¤ å ^                    ÂqÁá»P¹q©·Â÷¤lÁá¦@¨I¿nÂì¾T¤¶                                                       ¼h /®ñ¤Æ¾T¦w©w®ñ¤ÆèpÁá¼h
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                                                                Thermal Barrier Coating Deposited Using a Hybrid Arc And
                                                                Magnetron Sputtering System
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                     Country Hotel)Á | ¦ æ                                                           International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
                     (ICMCTF) ¤µ¦~¥ç¤£¨Ò~ ¸Ó·|ij¬O¬ü°ê¯uªÅ¨ó·|º                 ¡A ¡C                                                                                                      ¡u¥ý¶iªí-±¤uµ{³¡v                   (American Vacuum
                     Society, Advanced Surface Engineering Division)©Ò¥D¿ì¡A·|´Á¥Ñ                                                                                                                                   5 ¤ë 1 ¤é¦Ü        5 ¤ë 5 ¤é¦@ 5
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                                                                                                                                                               ¦ì                                                 500-700 ¤H¡A¨Ó¦Û¥@¬É
                                                                                                                                                                                                                                  °Ñ¥[
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              ¤µ¦~¥xÆW¾Ç³N¬É¥X®uªº¤H¤h§ó³Ó¥H©¹¡A¥iª¾¦¹                                                                                                                  ·|ij¶V¨Ó¶V¨ü°ê¤º¾Ç³N¬Éªº-«µø¡A©¹«á°ê
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                                                                                                                                                       ÁÂ
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     09:30 ©è¹F¸t¦a¤ú-ô¡C
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                            A. Coatings for Use at High Temperature
                            B. Hard Coatings and Vapor Deposition Technology
                            C. Optical Thin Films
                            D. Carbon and Nitride Materials
                            E. Tribology and Mechanical Behavior of Coatings and Thin Films
                            F. Advanced Characterization of Coatings and Thin Films
                            G. Applications, Manufacturing, and Equipment
                            H. New Horizons in Coatings and Thin Films
                            PL. Plenary
                            TS1. Coating for Automotive Applications
                            TS2. Coatings for Aerospace Applications
                            TS3. Coating for Fuel Cells

                               °£¤F¥DÃDºtÁ¿¥~¡A¨C¤Ñ¦-W©M¤U¤È³£¦U¦³¤C¦Ü¤K³õ                                                                               10 -Ó¥¦æªº¤fÀY³ø§iijµ{Åý»P·|
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    ¥Î (Automotive Applications)¡ B ¯ è ª Å ¤ u · ~ ª º À ³ ¥ Î                                                                              (Aerospace Applications)¤ Î ¿ U ® Æ ¹ q ¦ À                       (Fuel
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Nano-sized and Nano-Structured Inorganic Materials and Thin Film, Why and
When¡v¡C Prof. Veprek ¦b©`¦Ì¬ì¾Ç¤Î¶Wµw§÷®Æªº»â°ì                                                                                                                             ùØ©~©ó»â¾Éªº¦a¦ì¡A¨Ã±q¨Æ plasma
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                                                                                                                             ¼Ë¤Æªº©Ê½è
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      ªº Opening talk¡C
                                  ¥»¬ã¨s«Ç¤À§Oµoªí¤G½g¤fÀY³ø§i¤ÎT½g¾À³ø®i¥Ü¡A¤j·|½s¸¹¡B½g¦W¥H¤Î¦@P§@ªÌ¦p
        ¤Uªí©Ò¦C¡C

                   ½s¸¹                                                   ½g¦W                                                                                          §@ªÌ                       µoªí¤H
                                     The NiAl/Yttria-Stabilized Zirconia Thermal                                         ±i´º Å¡B¶À« ºa¡B¦ó¥D«G¡B
                 A3-1-9              Barrier Coating Deposited a Hybrid Arc Ion                                          (J.T. Chang, K.J Huang, J.L.                                              ¦ó¥D«G
                                     Plating and Mabnetron Sputtering System                                             He,)
                                     The     Thermal    Cyclic     Peformance   of                                               ¶À« ºa¡B±i´º Å¡B³¯§J©÷¡B
                 A3-1-10
                                     NiAl/Alumina-Stabilized    Zirconia   Thermal                                               ¦ó¥D«G¡BªL¤»í                               (K.J Huang,           ¶À«ºa
                                     Barrier Coating Deposited Using a Hybrid Arc                                                 J.T. Chang, J.L. He, K C.
                                     and Magnetron Sputtering System
                                                                                                                                  Chen, C.K Lin)
                                     Correlation Between the Plasma Parameters and                                     ³ ¢ « F ¼ ü ¡ B  Š» Ⱦ W ¡ B À ¹ ® ¦ ¨ ô ¡ B
                 BP-33               Microstructure of Tungsten Oxide Films                                             ¦ ó ¥ D « G (T.Y. Guo, Y.F. Lan,                                           ÂŻȾW
                                     Deposited by Reactive DC Magnetron Sputtering                                       A. Davison, J.L. He)
                                                                                                                         ¤ ý ¸ q « i ¡ B ¦ ó ¥ D« G ¡ B ³ ¯ § J © ÷ ¡ B
                                     Nano-Multilayer Ti-Zr-N Coating by a Central
                 BP-34
                                     Configured Multi-Arc Coating Process                                                 À¹®¦¨ô                        (I.Y. Wang, J.L. He, K                     ³¯§J©÷
                                                                                                                                 C. Chen A. Davison,)
                                                                                                                        Š» È ¾ W ¡ B ¤ ý å¥ Í ¡ B ³ ¯ ¨ Ø § ¡ B
                                     Thermionic-Enhanced Deposition of ITO Films
                 BP-57
                                     by Using DC Magnetron Sputtering                                                   ¦ó¥D«G                                   (Y.F. Lan, W.S. Wang,     ¤ýå¥Í
                                                                                                                           P. J. Chen, J.L. He,)


            ¦b³o¤- ѪºÄ³µ{¤ ¡A¦p¦¹²³ h³õ¦¸ªºÁ¿ t¤£¥F                                                                           ¥s¤H¿E½à¤Î¾Ç²ß §¥DÃD¡A°ß¨ä¥-¦æ h
³õ¤§Äµ{¡A¥u¦n§Ôµh³Î·R¤£Ö³õ¦¸¡A¿ï¾Ü¥X®u                                                                     ·P¨ì¿³½ ªº´X-Ó³õ¦¸¡C¦b§^¤Hªº³ø§i¤§«á
¤@¦ì¨ÓÛ¥[¬w                                          Santa Barbara tºª¿Á
                                                                   ºÜÁü¨Ç¾j¤                               Pitek¡AtDneO             º ¥ºª¿Á - ®º¤ ¬                          Yttria-Stabilized
         Zirconia Thermal Barrier Coating ªº¨t²Î¤¥[J²Ä¤T¤¸¯À                                                                                                             ZrO2-YO1.5-TaO2.5 ªºTa¡A¨Ïä¦b
¤T¤¸¨t¡AÂÇ                   ²Î¤                               钽                                                    TBC ¨t²Î¤´X-Ө嫬ªº²{¶H¤Î¹B¡A¦b³o¤T¤¸¨t²Î
                                                                                                                                                     ¥Î
 ¤ 钽                                                                                                                                                                non-transformable Tetragonal ³¡¥÷ªº¤T
  ¤¸®ñƨt¡A¦b³oÁp¦X¦w©w¤ÆU¡A¦Ò¼{b³o¨â¬Û°Ï
                         ²Î¤                                                                                                                                         (non-transformable Tetragonal + cubic)
                                                       o
        ¦b 1500 C ªº°·ÅÀô¹Ò¤U¡A¯à°÷¨ÌµMºû«ù¦w©w¡A¿ï¾Ü¨I¿nÐÀ¤Î                 ¤Æ                                                                                                                        钽
                                                                                                                                                           7YSZ §ó¨ã©èܤO¡A¥t¥~äv                         +钽
                                                                                                 (non-transformable Tetragonal)¬Ahµw¤OAÇ                                    ¡ Ï°Û ¼í·Û¬³¦ã¨ í°ºª×«   ¡
         ¦³¹¨Ó´£ª@                                          TBC ¨t¡A¨Ã¸gºtÁ¿ªÌ»{¯uªº±N®ñ¤ÆèpÁ¡½¤¹B¥Î¼ö¤O¾Ç¤Î¬ÛÅÜƨä
                                                                   ²Îªº-@¤[©Ê
         §÷®Æ¬ì¾Çªº ÃѤΩw«ß¡A°µ¤F¤@-Ó¦³¨t²Îªº¾ã                                                                                              ²z¤Î³ø§i¡A¨Ï³o¨Ç 㦳«e´ºª ¯S©Ê¡A¤@
                   ªº§e²{¦b·í¤Ñ«e¨Ó²âÅ¥¤Î»P·|ªÌ º²´«e¡A¨Ã¦b                                                                                   ³ø§i«á¿E°_¼ö¯Pªº°Q½×¡C¥t¤@¶µ¥O¤H²´·ú
Tel Aviv University ªº Prof. Reuven Boxman ¬°©Ò¦³
        ªº»P·|ªÌ¶i¦æ±MÃDºt¡A¦p¦ób³o                                                          Á¿                                                                                                           15 ¤ÀÄÁªº                             Oral ¹Lµ{¡A°µ¤@-Ó¦³®Ä²v¤Îºë·Çªt»¡A                ¤
                                             ¤£ºÞ®É³ø§iªº¤ ®e¡B                                                                                        Powerpoint ªº·Ç³Æ¡BÁ¿¥x¤Wªº»öA¡BªA¸Ë¤Î»PÅ¥Á¿ªÌº¤¬°Ê³£µ¤F
                                    ¤@-ӫܦnªº¸àÄÀ¡A¨ä¦¸¤S°w¹ï§Y±N                                                                                                                                             Poster ªºÅ¥²³¡A¤À¨Éä¾³ø»s§@ªº-n»â¡A¤£ºÞ¦b¤åÄm
                                             ¦^ÅU¡B¸ê®Æªº¦¬¶°¡B¹êÅçLµ{ªº®i¥Ü¡B¹êÅç¼Æ                                                                                                                                                                         ¾Úªº§e²{¡Bª©-± º°t¸m¤Î³Ì«á¦p¦ó¥Î¤@-Ó
                                             ³Ì¯à¿E°_¦@»ïªºµ²ªG¡A¨Ó¥´°Ê ÑÆ[ªÌ¡A§¡°µ¤F                                                                                                                                                                        ¤@-ӳ̨Ϊº«ü¾É¡C¨Ã§¹¾ã¤Î¥R¥÷ªº®i²{¦b
                                             ¥Lªºt»¡¤º®e¤§¡AÅý©Ò¦³ªº»P·|ªÌµL¤£¹ï©«áªº                                                                                                                                                                                                            Oral ¤Î Poster WKXHC                                     ¼ ² ´ «À¤ ¡ß¤
                                                                              °£¤F¥Ø«e·í¬õªº¥ú¹q²£·~                                                                                      -²G´¹Åã¥Ü¾                                  (TFT-LCD)¡A TFT-LCD ¤Î¦¸¥@N¥D°Êµo¥ú¥-±
 Åã¥Ü¾¹                                                                                                    - ¦³¾÷µo¥ú¤G·¥Åé                                           (OLED)ªº³o¨ÇijÃD¤]¬O¤j·|ªº@¶µ-«                                                                                                                                             ÂI³õ¦¸¡A¨Ó¦ÛÁú°ê¡B¤é¥»
        ªº¬ãµo²±ªp¦b¬ÛÃöªº                                                                                                                              Session ¤ªíÅSµLºÃ¡C¨Ã¥Ñ©óÛªo»ù®æªº-¸¦¤Îa²y¸ê·½ªº¤éÁ͵u
        ¯Ê¡A·s¿³¯à·½¡B¸`¯à§÷®Æ¤Î ·½ ªº¨ú±o¤Î                                                                                                                                                                                                                 ¬ãµo¡A§ó¬O·í«e«D±`-«nªºÄ³ÃD¡C¦b¿U®Æ
           ¹q¦À                                                              (Fuel Cells)¤µN                                       ¶@¤ ³Þ§¤½áÁºªä öà                                                                           - §Q¥Î                        YSZ Á¡½¤¹B¥Î¦b¿U®Æ¹q¦Àªº³±·¥§÷®Æ¡A¥H
            ´£ª@¨ä¹q·¥ªº¤ÏÀ³ t²v¡A¨ä¹ê¤w¸g¦³¤@¬q®É¶¡                                                                                                                                                                                                         ªºµo®i¤F¡Aªñ¦~¨Ó¤é¥»£Ö·~ªÌ¡A³£¶Dª¾
            ¦³-«¤jªº§ÞN¡A¥i±N¨ä¹B¥Î¦b                                ¬ð¯}                                                                                                                                    3C ªº²£·~¡C°£¦¹¤§¥~Á¡½¤¹q¡B¤Ó¶§¯à¹q¦À¤ÎºÒ§÷
                                                                                                                                                                                                                                ¤      ¦À
                      ®Æ¦b¯à·½¬ì§Þªº¹B¥Î¤]¦b³o¦¸¬ã°Q·|¤ ³ h½g                                                                                                                                                                                                ¤fÀY¤Î®ü³øµoªí¡C¥¼¨Ói¯àªºµo®i¤]¦b¦¹
                      ¦¸³zÅS¥X¤@¨ÇºA¶Õ¡C¸Ñ¨M·í«eªº¯à·½¦M¾÷¡A¤]                                                                                                                                                                                               ¥i¦b¦¹ ¸ªº¬ã°Q·|¤ Ý¥X¡A¥¦±N·|¬O¥¼¨Ó
                      «D±`-«nªºÄ³ÃD¡C
                                                                             ¼t°Ó®i¥Ü¦b·|ijªº² ¤G»P²Ä¤T                                                                                                   ¤Ñ¦- W¡A¦@ ³¬°¼Æ¤£ Ö t®a                                                                                                             °Ñ®i¡A®i¥Xªº¤ ®e¤Q ÀÂ×
                       ´I¡Aµ§ªÌ§Q¥Î¤fÀYºtÁ¿ªºÅ·v¡A§â´¤®É¶¡A°Ñ                                                                                                                                                                                                Æ[¤F¤j³¡ À¼t®a¡A¯Á¨ú¤F³¦h·sªº¸ê®Æ¡C
                       °£¤F´X®a±q¨Æ¸Ë¹¢©Ê¤Î u¨ãÁὤªº¼t®a¥~¡A¨ä                                                                                                                                                                                              ¤¦³´X®a¬OÄÝ©óÁὤ³]ƪº¼t°Ó¡A±µµÛ´N
                       ¬O¤ÀªR³] ƪº¼t°Ó¡A·|³õ¤ ]¦³                                                                                                                                                   4-5®aªº³o¼ËÃþ«¬ªº¼t°Ó¡A¦b§Ú-Ì»sµ{¤ ©Ò¨Ï¥Î¨ìªº¹v
¡A¦³®i¥Ü¹v§÷ªº¼t¡A¤j                       §÷ ²{õ¤] °Ó                                                                                                                                                ¦h¥Hª÷Äݧ®Æ¬°¥D¡A¨Ã                                                                                         ·f°t¨ä³QÂЫ᪺®Ä G¤@°_®i¥Ü¡C
                                                                                 ¤- ë T¤é j·|¦w±Æ ß®b¡A©Ò¦³»P·|ªÌ¦@»E¤@°ó                                                                                                                                                                       ¡A¨É ü¦èÀ»P¬ü°s¡A·PÁÂÄw¿ì·|ijªº
                       ¸q°È¤u§@¤H-û¨Ã¼y¯¬·|ijªº¦¨¥¡A¦@«×¬ü nªº                                                                                                                                                                                              ¤@±ß¡C®b·|¤ ¦³¾l¿³ªº N±m¸`¥Ø¡A§«~¬°
                       °Ñ®iªº¼t°Ó©Ò´£¨Ñ¡C
                                                                                 ¦b¾À³ø®i¥Ü·|³õ¤¡A¥Ñ©ó¬°¼Æ²³¦hªº½g¾À³ø½×¤å¡A¦b¬ù²ö                                                                                                                                                                                                                  2 ¤p®Éªºi¥Ü¤¡A¹êµLªk
                          ¨Ì¤@»P¡A¶È±o´N¦³¿½ìªº×¤å»P¡CÂǦ³¹ï-^°ê
                                                            §@ªÌ°Q½×                             §@ªÌ°Q½×¤                                                                                                                                                                                                                                                          Sheffield University ªº
                               Prof. Allan Matthews ª º ¬ ã ¨ s « Ç ³ ¡ ¥ ÷ ¦ ¨ - û ª º ¼ ô Ã Ñ ¡ A ° Ñ Æ [ ¤ Î ° Q ½ × © Ò ® i ¥ Ü ª º ¾ À ³ ø ¡ A Ã D ¥ Ø ¬ °
                               ¡u Mechanical and Tribological Properties of ZrTiCu(B,N) PVD Coating¡vq                                                                                                                                                                                                                                                                   ± Ϻʩ³À ¤Î¥Q§
                                Áá PVD ªº§Þ³N±N                                                                                                      Zr-Cu ª÷ÄÝ°òÁ¡½¤¨I¿n¦b                                                               ASP23 ªº¤u¨ã¿û¤W¡AÂǦ³¤ÏÀ©Ê®ðÅé´á«P
                                              ¨ÏI¿n¦b¸Õ¤ùW¡A¥h§Î¦¨¤@-Óµw¤Æªº¹L¹¡©M©`                                                                                                                                                                         ¦Ì´¹¬Ûªº á¤ÆèpÁ¡½¤ A¦b³o¹L´çªº ÷ÄÝ°ò
                                              ¬Ûªº»É² ¤l¡A³Q¤@-Ó n©M¶ ±qªº«D´¹½èª«³ò¶                                                                                                                                                                       µÛ¡A³o¼Ë©`¦Ìµ²ºcªº®Ä¯à¥iÂǦ³Æ[¹îÜg¤Î
                                              ¸N¤¸¯À¦Óò±oµû¡A             ¦ô                                                                           ZrTiCu(B,N)Á¡½¤¬°                                                          2 µm AÎ Q¥ §           ¡á«                                                     SEM ªºÆ[¹î¬°¤@±K¶°ªº«D´¹½èµ²
                                  ºc¡A¨C-Ó³QÆ[¹îªº¸Õ¤ù ¡A¨Ã S¦³ÅãµÛªº®t§O                                                                                                                                                                                    ¡A©Ò¦³ªº¸Õ¤ù´X¥G³£§e²{¨ä·L¤p¨å«¬ªº¯S
 xApµAAoheXµw«qhOó©j¤             ¼ ¡ «ä¨î - à þªÎ¤×« ºÎ§ ªÛ ¡ ³ ¼áÁǨ § ¥{² ºª °í·Û¬ ¡ × ¦Ü« ¬£³                                                                                                                                                                                                                                                                                        20 GPa¡r
                                   ³o©M¥D-n¬Û°©`¦Ì´¹ªº                                                                                                    ZrN pAµM¦Abg³¦    Áöúªj¤Ü«³¦ ¡               ¡Ó ¦ ¸                                                                                                                      XRD ªº¤ÀR¡A³oÁá¼h¤ªº°
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          3.               ¤T¡BÄâ¦^¸ê®Æ
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          1. Program and Abstract Book of Int’l Conf. on Metallurgical Coatings and Thin Films ¤@¥÷¡C
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  • 2. (¥]¬A 1¡B°Ñ¥[·|ij¸g¹L¡F 2¡B»P·|¤ß±o ) 1. °Ñ¥[·|ij¸g¹L ¨ C ¦ ~¥ | -¤-¤ë¥÷©T©w¦b¬ü°ê¥[¦{ªº¸t¦a¤ú-ô (San Diego) ¤ § « ° ¶ m ® È À ] (Town and Country Hotel)Á | ¦ æ International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF) ¤µ¦~¥ç¤£¨Ò~ ¸Ó·|ij¬O¬ü°ê¯uªÅ¨ó·|º ¡A ¡C ¡u¥ý¶iªí-±¤uµ{³¡v (American Vacuum Society, Advanced Surface Engineering Division)©Ò¥D¿ì¡A·|´Á¥Ñ 5 ¤ë 1 ¤é¦Ü 5 ¤ë 5 ¤é¦@ 5 ¤Ñ¡C¤µ¦~©Òµoªí¤§½×åg¼Æ¶W¹L 700 ½g¡C¦Ó·|ijªºõ¸°¹F 447 ³õ¤§¦h»P 205 ½g¾À³ø®i ¡A¥]§t¨üÁܽÐÓºtÁ¿ªº±M®a¾ÇªÌ¦³ ¥Ü 77 ¡A¨C¦~§l¤Þ¥þ²y¬ù ¦ì 500-700 ¤H¡A¨Ó¦Û¥@¬É °Ñ¥[ ¦U¦aªº¾ÇÌ¡B±M®a¡B¤uµ{®v»PºÞ²zªÌ¦@»E¤@°ó ¡A¦b¬ì¾Ç²z½×¡B§Þ³N¤ÎÀ³¥ ¹ê°È §¶¡ ¬ Û ¥æ´«¸ê°T¤ß±o¡A³W¼Ò¬ÆO§»°¶¡C¥xÆWªº¾Ç³N¬É¨C¦~¤]³£¦ÜÖ 20-40 ¤H¥X®u³o¶µ²±·|¡A ¤µ¦~¥xÆW¾Ç³N¬É¥X®uªº¤H¤h§ó³Ó¥H©¹¡A¥iª¾¦¹ ·|ij¶V¨Ó¶V¨ü°ê¤º¾Ç³N¬Éªº-«µø¡A©¹«á°ê ¤º°Ñ¥[ªH¼Æ±N·|§ó¥[ªº¼Wªø¡C §^¤H»P§Úªº«ü¾É±Ð ¤Υ»¬ã¨s«Çªº¦¨-û©ó 2005 ¦~©³±µÀò¤j·|ªºfÀY³ø§i¤Î¾À³ø®i ¡A¦Ó¯àb°Ñ»P¦¹ ¥ÜªºÁ½Ð Session ¤Àò±o°ê¬ì·|ªº¸É§U¡A²`ªí·P¡C¨Ï¦¹¸±o¥H¶§Q¦¨æ Á «e©¹¸t¦a¤ú-ôªº Town and Country Hotel Xu ICMCTF ªº¦~«×²±·|¡C ¥ ® 4 ¤ë 29 ¤é·íÑf-¼ ªøºa BR 0002 ¯Z¾÷¶}¥xÆW¡A-¸©è¬¥§üÁF¤§«á@¦æH¦ÛæÅX¨®«e©¹¡A¨Ã©ó·í¦a®É¶¡±ß¤W 09:30 ©è¹F¸t¦a¤ú-ô¡C ³o¦¸ ICMCTF ¤j·|¨ÌºD¨Ò§â¦P½è©Êªº¤fÀY³ø§i©M¾À³ø®i¥ÜÂkÃþ¦¨´X-Ó¥DÃD¦p¤U¡G A. Coatings for Use at High Temperature B. Hard Coatings and Vapor Deposition Technology C. Optical Thin Films D. Carbon and Nitride Materials E. Tribology and Mechanical Behavior of Coatings and Thin Films F. Advanced Characterization of Coatings and Thin Films G. Applications, Manufacturing, and Equipment H. New Horizons in Coatings and Thin Films PL. Plenary TS1. Coating for Automotive Applications TS2. Coatings for Aerospace Applications TS3. Coating for Fuel Cells °£¤F¥DÃDºtÁ¿¥~¡A¨C¤Ñ¦-W©M¤U¤È³£¦U¦³¤C¦Ü¤K³õ 10 -Ó¥¦æªº¤fÀY³ø§iijµ{Åý»P·| ªÌ¦Û¥Ñ¿ï¾Ü° [ ¤v·P¿³½ìªº¥DÃD¡C¦b¤µ¦~ªº ¬ã°Q·|¤ §ó s¯Ç¤J¤FÁὤ¦b¨T¨®¤u·~ªºÀ³ ¥Î (Automotive Applications)¡ B ¯ è ª Å ¤ u · ~ ª º À ³ ¥ Î (Aerospace Applications)¤ Î ¿ U ® Æ ¹ q ¦ À (Fuel Cells)¤TSDAwbqXCó©|·j¤ ¯Ó- óÄí® ¡ ° ¦¤½áÁï¹ ¹Î¤Ê©Ïº ¥ç Î ³Àºª±-è¤Ê© ¡É¾ø³Ö¤£ {² 5 ¤ë 1 ¤é¦-W¤KÂI¥b¥¿¦¡¶}©l¡A©Ò¦³»P·|ªÌ»E¡A²âÅ¥¤j·|©ÒÁܽР¶°¤@ó Prof. Stan Veprek ¤§¥DÃD
  • 3. Nano-sized and Nano-Structured Inorganic Materials and Thin Film, Why and When¡v¡C Prof. Veprek ¦b©`¦Ì¬ì¾Ç¤Î¶Wµw§÷®Æªº»â°ì ùØ©~©ó»â¾Éªº¦a¦ì¡A¨Ã±q¨Æ plasma CVD ªºÁὤ¬ã¨s¥|¤Q¾l¦~¡AÂÇ¥ÑLÂ×´Iªº¸g¡A²`¤Jªº³ø§i¡Aµo²{·í¯à±N§÷®Æ·L´¹ Åç ¤ Å骺¤ØoÁY¤p¦Ü¤j¬ù 20~30 nm ªº¤Øo±N·|²£¥Í¤ÖÀ¸¼@©Êªºµ²ªG¤Î§ó¦h¡AÂÇ ¼Ë¤Æªº©Ê½è ©`¦Ì¤Æªº £ ý¥i±Nªí-±µ²ºcªº-ì¤l·»ÂI·Å«×-° §C¡BÁY¤p´¹®æ°Ñ¼Æ¡B¤Î¨Ï¼ö°Ê Oªº¤£Ã-©w ©Ê¼W¶i¬¡¤Æ¯àªº ÏÀ³ t«×¡C¨Ã´N¨ä©`¦Ì¤Æªº Ø ¤o¤Îµ²ºc¡A°w¹ï¨ä¥ú¾Ç©Ê½è¡B¹q©Ê¡Bµ²ºc ²Õ´¡B¬ÛÅÜ¤Æ Î¶q¤lª«²zªºÆ[ÂI¡A¥H¤£¦Pªº¨¤ «×°µ¤F¤@-Ó²` Jªº³ø¾É¡A´£¨Ñ»P·|ªÌ¤@-Ó µL»P-Û¤ñªºÆ[ÂI¤Î¦b·í«e©`¦Ì¼ö骺¬ã¨s¤@ ¨Ç¼ç¦bªº§Q¥Î¾÷·|¡C¯u¬O¤@³õ²`¨ã¥¼ Ó©Ê ªº Opening talk¡C ¥»¬ã¨s«Ç¤À§Oµoªí¤G½g¤fÀY³ø§i¤ÎT½g¾À³ø®i¥Ü¡A¤j·|½s¸¹¡B½g¦W¥H¤Î¦@P§@ªÌ¦p ¤Uªí©Ò¦C¡C ½s¸¹ ½g¦W §@ªÌ µoªí¤H The NiAl/Yttria-Stabilized Zirconia Thermal ±i´º Å¡B¶À« ºa¡B¦ó¥D«G¡B A3-1-9 Barrier Coating Deposited a Hybrid Arc Ion (J.T. Chang, K.J Huang, J.L. ¦ó¥D«G Plating and Mabnetron Sputtering System He,) The Thermal Cyclic Peformance of ¶À« ºa¡B±i´º Å¡B³¯§J©÷¡B A3-1-10 NiAl/Alumina-Stabilized Zirconia Thermal ¦ó¥D«G¡BªL¤»í (K.J Huang, ¶À«ºa Barrier Coating Deposited Using a Hybrid Arc J.T. Chang, J.L. He, K C. and Magnetron Sputtering System Chen, C.K Lin) Correlation Between the Plasma Parameters and ³ ¢ « F ¼ ü ¡ B  Š» Ⱦ W ¡ B À ¹ ® ¦ ¨ ô ¡ B BP-33 Microstructure of Tungsten Oxide Films ¦ ó ¥ D « G (T.Y. Guo, Y.F. Lan, ÂŻȾW Deposited by Reactive DC Magnetron Sputtering A. Davison, J.L. He) ¤ ý ¸ q « i ¡ B ¦ ó ¥ D« G ¡ B ³ ¯ § J © ÷ ¡ B Nano-Multilayer Ti-Zr-N Coating by a Central BP-34 Configured Multi-Arc Coating Process À¹®¦¨ô (I.Y. Wang, J.L. He, K ³¯§J©÷ C. Chen A. Davison,)  Š» È ¾ W ¡ B ¤ ý å¥ Í ¡ B ³ ¯ ¨ Ø § ¡ B Thermionic-Enhanced Deposition of ITO Films BP-57 by Using DC Magnetron Sputtering ¦ó¥D«G (Y.F. Lan, W.S. Wang, ¤ýå¥Í P. J. Chen, J.L. He,) ¦b³o¤- ѪºÄ³µ{¤ ¡A¦p¦¹²³ h³õ¦¸ªºÁ¿ t¤£¥F ¥s¤H¿E½à¤Î¾Ç²ß §¥DÃD¡A°ß¨ä¥-¦æ h ³õ¤§Äµ{¡A¥u¦n§Ôµh³Î·R¤£Ö³õ¦¸¡A¿ï¾Ü¥X®u ·P¨ì¿³½ ªº´X-Ó³õ¦¸¡C¦b§^¤Hªº³ø§i¤§«á ¤@¦ì¨ÓÛ¥[¬w Santa Barbara tºª¿Á ºÜÁü¨Ç¾j¤ Pitek¡AtDneO º ¥ºª¿Á - ®º¤ ¬ Yttria-Stabilized Zirconia Thermal Barrier Coating ªº¨t²Î¤¥[J²Ä¤T¤¸¯À ZrO2-YO1.5-TaO2.5 ªºTa¡A¨Ïä¦b ¤T¤¸¨t¡AÂÇ ²Î¤ 钽 TBC ¨t²Î¤´X-Ө嫬ªº²{¶H¤Î¹B¡A¦b³o¤T¤¸¨t²Î ¥Î ¤ 钽 non-transformable Tetragonal ³¡¥÷ªº¤T ¤¸®ñƨt¡A¦b³oÁp¦X¦w©w¤ÆU¡A¦Ò¼{b³o¨â¬Û°Ï ²Î¤ (non-transformable Tetragonal + cubic) o ¦b 1500 C ªº°·ÅÀô¹Ò¤U¡A¯à°÷¨ÌµMºû«ù¦w©w¡A¿ï¾Ü¨I¿nÐÀ¤Î ¤Æ 钽 7YSZ §ó¨ã©èܤO¡A¥t¥~äv +钽 (non-transformable Tetragonal)¬Ahµw¤OAÇ ¡ Ï°Û ¼í·Û¬³¦ã¨ í°ºª×« ¡ ¦³¹¨Ó´£ª@ TBC ¨t¡A¨Ã¸gºtÁ¿ªÌ»{¯uªº±N®ñ¤ÆèpÁ¡½¤¹B¥Î¼ö¤O¾Ç¤Î¬ÛÅÜÆ¨ä ²Îªº-@¤[©Ê §÷®Æ¬ì¾Çªº ÃѤΩw«ß¡A°µ¤F¤@-Ó¦³¨t²Îªº¾ã ²z¤Î³ø§i¡A¨Ï³o¨Ç 㦳«e´ºª ¯S©Ê¡A¤@ ªº§e²{¦b·í¤Ñ«e¨Ó²âÅ¥¤Î»P·|ªÌ º²´«e¡A¨Ã¦b ³ø§i«á¿E°_¼ö¯Pªº°Q½×¡C¥t¤@¶µ¥O¤H²´·ú
  • 4. Tel Aviv University ªº Prof. Reuven Boxman ¬°©Ò¦³ ªº»P·|ªÌ¶i¦æ±MÃDºt¡A¦p¦ób³o Á¿ 15 ¤ÀÄÁªº Oral ¹Lµ{¡A°µ¤@-Ó¦³®Ä²v¤Îºë·Çªt»¡A ¤ ¤£ºÞ®É³ø§iªº¤ ®e¡B Powerpoint ªº·Ç³Æ¡BÁ¿¥x¤Wªº»öA¡BªA¸Ë¤Î»PÅ¥Á¿ªÌº¤¬°Ê³£µ¤F ¤@-ӫܦnªº¸àÄÀ¡A¨ä¦¸¤S°w¹ï§Y±N Poster ªºÅ¥²³¡A¤À¨Éä¾³ø»s§@ªº-n»â¡A¤£ºÞ¦b¤åÄm ¦^ÅU¡B¸ê®Æªº¦¬¶°¡B¹êÅçLµ{ªº®i¥Ü¡B¹êÅç¼Æ ¾Úªº§e²{¡Bª©-± º°t¸m¤Î³Ì«á¦p¦ó¥Î¤@-Ó ³Ì¯à¿E°_¦@»ïªºµ²ªG¡A¨Ó¥´°Ê ÑÆ[ªÌ¡A§¡°µ¤F ¤@-ӳ̨Ϊº«ü¾É¡C¨Ã§¹¾ã¤Î¥R¥÷ªº®i²{¦b ¥Lªºt»¡¤º®e¤§¡AÅý©Ò¦³ªº»P·|ªÌµL¤£¹ï©«áªº Oral ¤Î Poster WKXHC ¼ ² ´ «À¤ ¡ß¤ °£¤F¥Ø«e·í¬õªº¥ú¹q²£·~ -²G´¹Åã¥Ü¾ (TFT-LCD)¡A TFT-LCD ¤Î¦¸¥@N¥D°Êµo¥ú¥-± Åã¥Ü¾¹ - ¦³¾÷µo¥ú¤G·¥Åé (OLED)ªº³o¨ÇijÃD¤]¬O¤j·|ªº@¶µ-« ÂI³õ¦¸¡A¨Ó¦ÛÁú°ê¡B¤é¥» ªº¬ãµo²±ªp¦b¬ÛÃöªº Session ¤ªíÅSµLºÃ¡C¨Ã¥Ñ©óÛªo»ù®æªº-¸¦¤Îa²y¸ê·½ªº¤éÁ͵u ¯Ê¡A·s¿³¯à·½¡B¸`¯à§÷®Æ¤Î ·½ ªº¨ú±o¤Î ¬ãµo¡A§ó¬O·í«e«D±`-«nªºÄ³ÃD¡C¦b¿U®Æ ¹q¦À (Fuel Cells)¤µN ¶@¤ ³Þ§¤½áÁºªä öà - §Q¥Î YSZ Á¡½¤¹B¥Î¦b¿U®Æ¹q¦Àªº³±·¥§÷®Æ¡A¥H ´£ª@¨ä¹q·¥ªº¤ÏÀ³ t²v¡A¨ä¹ê¤w¸g¦³¤@¬q®É¶¡ ªºµo®i¤F¡Aªñ¦~¨Ó¤é¥»£Ö·~ªÌ¡A³£¶Dª¾ ¦³-«¤jªº§ÞN¡A¥i±N¨ä¹B¥Î¦b ¬ð¯} 3C ªº²£·~¡C°£¦¹¤§¥~Á¡½¤¹q¡B¤Ó¶§¯à¹q¦À¤ÎºÒ§÷ ¤ ¦À ®Æ¦b¯à·½¬ì§Þªº¹B¥Î¤]¦b³o¦¸¬ã°Q·|¤ ³ h½g ¤fÀY¤Î®ü³øµoªí¡C¥¼¨Ói¯àªºµo®i¤]¦b¦¹ ¦¸³zÅS¥X¤@¨ÇºA¶Õ¡C¸Ñ¨M·í«eªº¯à·½¦M¾÷¡A¤] ¥i¦b¦¹ ¸ªº¬ã°Q·|¤ Ý¥X¡A¥¦±N·|¬O¥¼¨Ó «D±`-«nªºÄ³ÃD¡C ¼t°Ó®i¥Ü¦b·|ijªº² ¤G»P²Ä¤T ¤Ñ¦- W¡A¦@ ³¬°¼Æ¤£ Ö t®a °Ñ®i¡A®i¥Xªº¤ ®e¤Q ÀÂ× ´I¡Aµ§ªÌ§Q¥Î¤fÀYºtÁ¿ªºÅ·v¡A§â´¤®É¶¡A°Ñ Æ[¤F¤j³¡ À¼t®a¡A¯Á¨ú¤F³¦h·sªº¸ê®Æ¡C °£¤F´X®a±q¨Æ¸Ë¹¢©Ê¤Î u¨ãÁὤªº¼t®a¥~¡A¨ä ¤¦³´X®a¬OÄÝ©óÁὤ³]ƪº¼t°Ó¡A±µµÛ´N ¬O¤ÀªR³] ƪº¼t°Ó¡A·|³õ¤ ]¦³ 4-5®aªº³o¼ËÃþ«¬ªº¼t°Ó¡A¦b§Ú-Ì»sµ{¤ ©Ò¨Ï¥Î¨ìªº¹v ¡A¦³®i¥Ü¹v§÷ªº¼t¡A¤j §÷ ²{õ¤] °Ó ¦h¥Hª÷Äݧ®Æ¬°¥D¡A¨Ã ·f°t¨ä³QÂЫ᪺®Ä G¤@°_®i¥Ü¡C ¤- ë T¤é j·|¦w±Æ ß®b¡A©Ò¦³»P·|ªÌ¦@»E¤@°ó ¡A¨É ü¦èÀ»P¬ü°s¡A·PÁÂÄw¿ì·|ijªº ¸q°È¤u§@¤H-û¨Ã¼y¯¬·|ijªº¦¨¥¡A¦@«×¬ü nªº ¤@±ß¡C®b·|¤ ¦³¾l¿³ªº N±m¸`¥Ø¡A§«~¬° °Ñ®iªº¼t°Ó©Ò´£¨Ñ¡C ¦b¾À³ø®i¥Ü·|³õ¤¡A¥Ñ©ó¬°¼Æ²³¦hªº½g¾À³ø½×¤å¡A¦b¬ù²ö 2 ¤p®Éªºi¥Ü¤¡A¹êµLªk ¨Ì¤@»P¡A¶È±o´N¦³¿½ìªº×¤å»P¡CÂǦ³¹ï-^°ê §@ªÌ°Q½× §@ªÌ°Q½×¤ Sheffield University ªº Prof. Allan Matthews ª º ¬ ã ¨ s « Ç ³ ¡ ¥ ÷ ¦ ¨ - û ª º ¼ ô Ã Ñ ¡ A ° Ñ Æ [ ¤ Î ° Q ½ × © Ò ® i ¥ Ü ª º ¾ À ³ ø ¡ A à D ¥ Ø ¬ ° ¡u Mechanical and Tribological Properties of ZrTiCu(B,N) PVD Coating¡vq ± Ϻʩ³À ¤Î¥Q§ Áá PVD ªº§Þ³N±N Zr-Cu ª÷ÄÝ°òÁ¡½¤¨I¿n¦b ASP23 ªº¤u¨ã¿û¤W¡AÂǦ³¤ÏÀ©Ê®ðÅé´á«P ¨ÏI¿n¦b¸Õ¤ùW¡A¥h§Î¦¨¤@-Óµw¤Æªº¹L¹¡©M©` ¦Ì´¹¬Ûªº á¤ÆèpÁ¡½¤ A¦b³o¹L´çªº ÷ÄÝ°ò ¬Ûªº»É² ¤l¡A³Q¤@-Ó n©M¶ ±qªº«D´¹½èª«³ò¶ µÛ¡A³o¼Ë©`¦Ìµ²ºcªº®Ä¯à¥iÂǦ³Æ[¹îÜg¤Î ¸N¤¸¯À¦Óò±oµû¡A ¦ô ZrTiCu(B,N)Á¡½¤¬° 2 µm AÎ Q¥ § ¡á« SEM ªºÆ[¹î¬°¤@±K¶°ªº«D´¹½èµ² ºc¡A¨C-Ó³QÆ[¹îªº¸Õ¤ù ¡A¨Ã S¦³ÅãµÛªº®t§O ¡A©Ò¦³ªº¸Õ¤ù´X¥G³£§e²{¨ä·L¤p¨å«¬ªº¯S xApµAAoheXµw«qhOó©j¤ ¼ ¡ «ä¨î - à þªÎ¤×« ºÎ§ ªÛ ¡ ³ ¼áÁǨ § ¥{² ºª °í·Û¬ ¡ × ¦Ü« ¬£³ 20 GPa¡r ³o©M¥D-n¬Û°©`¦Ì´¹ªº ZrN pAµM¦Abg³¦ Áöúªj¤Ü«³¦ ¡ ¡Ó ¦ ¸ XRD ªº¤ÀR¡A³oÁá¼h¤ªº° §t¶qªº»É-ì¤l©Ò¦s¦bªº¬Û¡A¬O¤£®e©ö³Q´ú¶qªº ¡A¦b³o¹êÅ窺¨Ò¤l¤ ¡A¶È¤ÏÀ³¥X»É-ì¤l¬O ¥i¥H³Q§ä¨ì¡A¸g¥Ñ¿i¯Ó´ú¸Õ¡A¥i¨Ï¥Î¦b«D³e¬ï ·L¤Ø oªº¿i¯Ó¤W¡A¨ÃÂǦ³±N²yÅé¸m©óªO-±
  • 5. PVD ªº§Þ³N¤£ºÞ¬O¡BÁ¡½¤«p¡B¡B¤Æ¾Ç¯S©Êµ¥¸Ô Á ½¤ªº¦¨ ø 欰 «× ¾÷±ñ©Ê½è ²Ó¦a°O¸ü¦b¥L¡A±N¨ä¹B¥Î¦b¤u¨ã©M¥¯à©ÊÁὤW¡A¬O¤@-Ó¬Û·í¥i¾aªº³QÂЧÞN¡A ªº®ü³ø¤ ÂǥѮü³øªºiÄý»P§@ªÌ°µ¥R¤À°Q½×»P¥æ¬yÀò¯q¨}¦h¡C ¥Ñ©ó¸Ó¬ã¨s«Ç¦b Prof. Allan Matthews ªº«ü¾É¤U¡A¬ã¨s¦¨ªGÂ׺ӡA¨Ï«Ü¦h¦b³o·|³õªº »P·|ªÌ¡A°ÑÆ[¸Ó¾À³øªº®i¥ÜÀò¯q¨}¦h¡C¤S¦] Prof. Allan Matthews ´¿¦h¦¸³X°Ý¥xÆW¶i¦æ¬° ¼Æ¤£ Ö³õ¦¸ªº tÁ¿¡A¦A°ê»Úªº¾Ç³N¬É¤S»á¨ã²± ¦W¨Ã¤S¾á¥ô »¦¸¤j·|Á`½s¿è¡A¥xÆW¾Ç¬É¹ï ¨ää£-¯¥Í¡A¨ä¸Ó®i³õ¦¨¬°ÌÀò¥xÆW¾ÇªÌ¤Î¥~°ê¾ÇªÌÑÆ[º³¨ÎÏì¡C ·|³õ¤ ¡A»P·|ªÌ¨Ó¦^ º¬ï±ôµÛ¡A¾ã-Ó®ðª^³£«D ±`¦a¼öµ¸¡A¦b¦h¤Ñªº fÀY³ø§i¡B¾À³ø ®i¥Ü©M¬Û³B¤§»Ú¡C¦] ¹»{ÃѤF¤£ Ö·sªB¤Í¡C¦Ñ ¤Í¬Û»E¡A±ß¶¡ªº²á¤Ñ p°u¬°·Ç³Æ¦¹ ¸¤j | ªº³Ò²ÖÂà¤Æ F¨Ç³»´ÃPªº±¡ ü C¤j·|©ó¬P´Á¤- µ²§ô¡A¹j¤Ñ¦-W±aµÛ¤@¦æÅnªº¦¬Àò©M´r§Ö ªº¤ß±¡·f¾÷ªð¦^¥xÆW¡C 2. ¤ß±o·PQ ¦¹¸¬ã°Q·|O¥Ñ¬ü°ê¯uªÅ¨ó·|©Ò¥D¡A¥X®u¤H¼Æ¬ù¦³ ¿ì¤§j«¬°ê»ÚãQ·|@ 700¤H¥X uAù³ ¦ ¬ ®¡ 447½g¤fÀY³ø§i©M 205½g¾À³ø®i¡A¦¹·|ij¥D-n¥Ñ ¥Ü ¾Ç³N¡B²£·~¬É©Ò²Õ¦¨»Pµo°_¡A ¬É ¥i»¡¬O²z½×¬ã¨s»P¹ê°Èªºµ²¦X¡A¦] ¹¤£½×¬O¹ï ¾Ç¬É©Î·~¬É Ò¦³·¥¤jªº»t¯q¡C°Ñ¥[¦¹ ¸·| ij¡A°£¤À¨É¦Û vªº¬ã¨s¦¨ªG¥~¡A¨Ã¼s¯Ç½Ñ¦h¾Ç ªÌ±M®aªº¸gÅç»P·sª¾¡A¨Ã»P°ê»Ú¤Wªº¬ã¨s ¾ÇªÌ»P²£·~¤H¤h¤Á½R»PµZ¿i¡A©¼¦¹¥æ´«·N¨£»P ¤ß±o¡C¥»¦¸·|ij¡A»P·|ªÌ¬ù¦³¤@¥b¨Ó¦Û¬ü °ê¥»¤g¥H¥~ªº°ê®a¡A¼Ú¬w¨Óªº¥e¨ä¤ ªº j¦h¼Æ ¡C¨È¬w°ê®a¨Óªº°Ñ»PªÌ¤] £ Ö¡A¬ù¦³¤» Q ¾l¤H¨Ó¦Û¥xÆW¡A¨Ã¦bÀ·| ¤ ò±o¥D®uªºÆg´- ¡A¦b¦¹ ¸ªº¬ã°Q·|¤ ¡A¥xÆW¨Óªº»P·|ªÌµo ªí¤F¬°¼Æ¤£Öªº³ø§i¡A¥Ñ¦¹i¨£¥xÆW¾Ç³N¬É¹ï ¤Î¾À³ø ICMC³oÃþ«¬ªº°ê»Ú·|ij¿n·¥°Ñ[ªº ºA¶Õ¤Î-«µø¡C¨ä¾lªº¤À§O¨Ó¦Û¤é¥»¡B«nÁú¡B-» ´ä¡B·s¥[©Y¡B¦L«×¡B¤°êj³µ¥¡CÁöµM¨C ¦~¦b¦P¤@¦aÂIÁ|¦æ¡A¦ý³h¼Æªº¥X®uªÌ¬O©Mµ§ ªÌ¤@¼Ë¡A¤£¬O¬°¦n¤Ñ®ð Φn-·´º¦Ó¨ ¡A¦Ó ¬O¬°³o-Ó·|ij¥»¨¦«e¨Ó¡C ¦¹ ¸·|ij¥i¥HÆ[¹î¨ì·|ij¥DÃD ªº ©¹Ï¥¿ H·¥§Öªº³t«×ÂX¥R ¤§ ¡A·|ij¤ s¼W¤F¤£ Ö ©¹¦~¥¼¨£ªºÄ³ÃD¡A¥Ñ©ó¨ú±o·s¯à·½¤×¨ä-¢ Á©Ê ¡A¦p¿U®Æ¹q¦À¡B¥ú¹q¤Î¹q¤lÁὤ¬ãµo¡C¦b ·s¯à·½©|¥¼³Q§¹þ¶}µo¤§»Ú¡A¦p¦ó¸`¬ù¯à·½¡A ´£ª@²{¦³¯à·½ º¹B¥Î®Ä²v¦pÁὤ¦b¨T¨®¤u ·~¤Î¯èªÅu·~ªºÀ³¥Îµ¥¬Òi¨£ìäµoªí¼Æ¶qÅã µÛ¦¨ªø¡Cªº½T¦b³o³õ²±·|¤]Àò¨ú£Ös ª¾¡A§ó½T©w¤F¥¼¨Ó-¤H¦b¨D¾Çªº¹Lµ{¤Î¬ã¨sµo®i¨«¦Vªº¥¿½T©Ê¡C 3. ¤T¡BÄâ¦^¸ê®Æ ¦¹¸·|ijâ^ê®Æp¤U¡G 1. Program and Abstract Book of Int’l Conf. on Metallurgical Coatings and Thin Films ¤@¥÷¡C 2. ¤j·|¼t°Ó®i¥Ü¤§¶Ç³æÎØ¿ý¸ê®Æ@å¡C 3. ¤j·|®i¥ÜúºÐ¤@ù¡C ¡° ½Ð ªþ¥[ ¦¹ ·|ij ø§i¹q¤lÀÉ ¤Î µoªí½×¤å¥þ¹q¤lÀÉ ¡A¥H§Qµ²®×¡C