1. 掃描式電子顯微鏡簡介(EDS)
機型：JEOL,JSM-5610
解析度：最小3 nm
放大倍率：18~100,000
加裝能量散佈分析儀

2. 電子束微分析法 (Electron Probe
for Microanalysis, EPMA)
能量散佈分析儀 (Energy Dispersive
Spectrometer, EDS)
波長散佈分析儀(Wavelength Dispersive
Spectrometer, WDS)

3. 特性 X光
當原子的內層電子受到外來能
量源 (如：電子束、離子束或
者光源等) 的激發而脫離原子
時，原子的外層電子將很快的
遷降至內層電子的空穴並釋放
出兩能階差能量。被釋出的能
量可能以X光的形式釋出，或者
此釋出的能量將轉而激發另一
外層電子使其脫離原子

4. X射線能量散佈分析儀的結構示意圖

5. 產生X射線光譜的強度一能量圖