Sistemas Micro eletromecânicos 
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Candido Neves dos S. Júnior 
Williarde A. Souza 
Eng. de Automação e Controle 
FASB – F...
Espectrometria de Massa 
A técnica de espectrometria de massas (MS) é de grande importância e abrangência na 
Química Anal...
“Corrosão por Íon Reativo” (RIE). 
Neste sistema o plasma é gerado por potência a uma frequência de RF de 13,56 MHz 
Diagr...
No processo de corrosão, os íons de flúor encontram a superfície de Si 
atravessando a camada fluorinada, ao chegar à supe...
Efeito da pressão 
Sabe-se que com o aumento da pressão ocorre uma diminuição do livre caminho médio dos 
íons no plasma r...
Efeito da potência 
Após verificado a melhor condição de pressão para que o sistema RIE pudesse operar 
com alta taxa de c...
Efeito da adição do oxigênio 
Devido ao SF6 ser muito eletronegativo, ocorre uma grande captura de elétrons de baixa 
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Efeito da adição de argônio 
Gases nobres como argônio e hélio são frequentemente usados para estabilizar 
plasmas ou para...
Engenharia mecatronica   corrosão de silicio
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Engenharia mecatronica corrosão de silicio

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Apresentação do estudo sobre o processo de corrosão

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Engenharia mecatronica corrosão de silicio

  1. 1. Sistemas Micro eletromecânicos 1 Candido Neves dos S. Júnior Williarde A. Souza Eng. de Automação e Controle FASB – Faculdade do Sul da Bahia Análise de Espectrometria de Massa em Plasma de SF6 Aplicado para Corrosão de Silício
  2. 2. Espectrometria de Massa A técnica de espectrometria de massas (MS) é de grande importância e abrangência na Química Analítica. Físicos, químicos e biólogos tem participado do seu desenvolvimento e de suas aplicações atuais. Com o emprego da MS tem sido pesquisadas até mesmo biomoléculas de grande massa molecular e organismos individuais, como os vírus (Borman et al., 2003). O espectrômetro de massas é um instrumento analítico, no qual íons, produzidos a partir de elementos presentes em uma amostra, são separados por campos elétricos e/ou magnéticos de acordo com a razão massa-carga (m/z) destas espécies.
  3. 3. “Corrosão por Íon Reativo” (RIE). Neste sistema o plasma é gerado por potência a uma frequência de RF de 13,56 MHz Diagrama esquemático do sistema de corrosão RIE
  4. 4. No processo de corrosão, os íons de flúor encontram a superfície de Si atravessando a camada fluorinada, ao chegar à superfície do Si rompem as ligações Si-Si, liberando dois produtos voláteis o SiF2 reativo e o produto estável SiF4.
  5. 5. Efeito da pressão Sabe-se que com o aumento da pressão ocorre uma diminuição do livre caminho médio dos íons no plasma resultando na perda de direcionalidade e consequentemente num perfil de corrosão isotrópico. Estudos realizados por Mansano et. al. verificaram que com o aumento da pressão ocorre um aumento da taxa de corrosão até 100 mTorr, onde a partir deste valor esta permanece constante ou diminui Mansano, 1998).
  6. 6. Efeito da potência Após verificado a melhor condição de pressão para que o sistema RIE pudesse operar com alta taxa de corrosão de baixo consumo de gás SF6, foi feito um teste de variação de potencia para se verificar o grau de fragmentação das partículas de plasma.
  7. 7. Efeito da adição do oxigênio Devido ao SF6 ser muito eletronegativo, ocorre uma grande captura de elétrons de baixa energia. Isso reduz a dissociação do flúor. Para isso, diversos estudos recomendam a adição de um outro gás, normalmente N2, Ar ou O2 para aumentar a dissociação. Neste trabalho verificamos a influência dos gases O2 e Ar,
  8. 8. Efeito da adição de argônio Gases nobres como argônio e hélio são frequentemente usados para estabilizar plasmas ou para objetivos de refrigeração.

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