SlideShare uma empresa Scribd logo
1 de 10
Baixar para ler offline
Mikrosistem Teknolojileri ve
          MEMS




              Ufuk Kılıç
          www.ufukkilic.com.tr
Mikrosistem Teknolojileri ve MEMS
Mikroelektronik ve mikroçip teknolojisinde son 20-30 yıldaki atılım sonucunda yaşantı
şeklimiz çok etkilendi ve bugün küçük cep telefonları, bilgisayarlar ve internet hayatımızın
vazgeçilmez parçaları oldular. Bugün benzer bir atılımın, kısaca MEMS diye adlandırılan
Mikro Elektro Mekanik Sistemler adlı teknoloji sayesinde gerçekleşeceği beklenmektedir. Bu
teknoloji sayesinde mikroçipler üzerinde sadece mikroelektronik entegre devreler değil,
mikromekanik yapılar da yapılabilmektedir. Böylece hem mikroduyargalar (mikrosensör) ve
mikroeyleyiciler (microactuator) hem de elektronik devre bir çip içinde yapılabilmekte, yani
sistem fiyatı ve boyutları çip kadar ucuz ve çip kadar küçük olabilmektedir.

MEMS Teknolojisinin Uygulama Alanları

MEMS teknolojisinin uygulama alanları çok çeşitlidir ve bu teknolojinin hem askeri hem de
sivil kullanım alanları vardır. Otomotiv, biyomedikal, telekominikasyon, beyaz eşya ve bilişim
teknolojileri gibi birçok konuda MEMS teknolojisi sayesinde devrim niteliğinde gelişmeler
olmaya başlamıştır. Uygulama alanlarının genişliği, ucuz üretim potansiyeli, yüksek
performans elde edilebilmesinden dolayı, MEMS teknolojisi savunma endüstrisinin de ilgisini
çekmiştir.     Bu konuda A.B.D. Savunma Bakanlığı’nın hazırladığı bir rapor, MEMS
teknolojilerinin savunma sanayiinde ne kadar geniş bir kullanım alanı bulacağını çok çarpıcı
bir şekilde ortaya koymuştur.

MEMS halen günlük hayatımıza girmiştir. Bugün otomotiv sektöründe kullanılan ve kaza
anını tesbit ederek hava yastıklarının açılması bilgisini üreten ivmeölçerler (accelerometer)
MEMS teknolojisi ile 3mmx3mm boyutlarındaki bir silisyum yonga üzerinde elektronik
devresi ile birlikte üretilebilmekte ve birkaç dolara mal olmaktadır. Bu sayede eskiden
sadece çok pahalı arabalarda olan hava yastıkları bugün birçok otomobilde
bulunabilmektedir. Bilgisayar yazıcılarındaki ucuzlama, bilgisayar hafızalarındaki ani artış da
MEMS teknolojisi ile olmuştur. Bu teknoloji ile fiber optik iletişimde veri aktarımı sırasında
anahtarlamanın daha hızlı olması için mikroaynalar geliştirilmektedir, böylece internet
iletişimi bugünkünün 20 katı kadar daha hızlı olabilecektir.

Ayrıca, vücut içine yerleştirilebilen ve sinir uçlarını uyararak görme ve duyma fonksiyonlarını
sağlayabilecek mikroelektrodlar, kan damarlarındaki tıkanıklıkları açabilecek mikromotorlar
veya kandaki şeker miktarını ölçerek vücut içinde bulunan insülini mikromusluk yardımı ile
kontrollü açarak vücudun iyileşmesini sağlayacak biyomedikal mikrocihazlar da MEMS ile
mümkün olacaktır. Bunların haricinde, günlük hayatımızı her alanda etkileyecek çok ucuz
mikrosistemler MEMS teknolojisi ile gerçekleştirilebilecektir.

Dolayısı ile mikroelektronik nasıl çağımızı etkilediyse ve yaşantımızı değiştirdiyse, MEMS
teknolojisinin de 21. Yüzyıl'ı benzer şekilde etkileyeceği düşünülmektedir. Hızlı bir ivme ile büyüyen
MEMS pazarının 2002 yılında 38 milyar dolara ulaştığı gözlemlenerek bu rakamın 2006 yılında ise 68
milyar dolara ulaştığı net raporlar ile belgelenmiştir.


                                            Ufuk Kılıç
                                        www.ufukkilic.com.tr
ODTÜ’de MEMS Çalışmaları

ODTÜ'de MEMS çalışmaları Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümünde bulunan ODTÜ-MEMS Grubu
tarafından yürütülmektedir. Bu çalışmalar, Michigan Üniversitesi'nde yüksek lisans ve doktora
çalışmalarını tamamladıktan sonra 1995 yılında Türkiye'ye dönen Doç. Dr. Tayfun Akın tarafından
başlatmıştır. İlk önce NATO İstikrar için Bilim (NATO-SfS) Programı, ABD Ulusal Bilim Kurumu
(National Science Foundation, NSF) gibi uluslararası kuruluşlar tarafından desteklenen bu çalışmalar
daha sonra ulusal kuruluşların ilgisini çekmiştir.

ODTÜ'deki MEMS çalışmaları Milli Savunma Bakanlığı Ar-Ge ve Teknoloji Dairesi, TÜBİTAK, DPT,
Arçelik ve Aselsan tarafından desteklenmektedir. ODTÜ'de MEMS konusunda 2 doktora ve 17 yüksek
lisans tezi tamamlanmıştır ve şu anda devam eden 7 doktora ve 13 yüksek lisans tez çalışması
bulunmaktadır. Bu tezler ve projeler sayesinde ODTÜ'de MEMS konusunda çok önemli bir bilgi
birikimi ve araştırmacı kadrosu oluşmuştur. Ayrıca MEMS tasarımı konusunda ODTÜ'de her türlü
yazılım ve donanım altyapısı bulunmaktadır. ODTÜ Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümü’nde
oluşturulan 30 m2’lik küçük bir temizodada MEMS ve ileri yarıiletken malzemeler üzerine prototip
geliştirme çalışmaları yapılabilmektedir.

MEMS konusundaki çalışmaların endüstriyel bir boyuta taşınması için ODTÜ, TESTAŞ'a ait
olan, 40 milyon ABD doları yatırılmış fakat atıl duran bir mikroelektronik tesisini hükümetten
talep etmiştir. Bu tesisler 1998 yılında Özelleştirme Yüksek Kurulu tarafından ODTÜ'ye
devredilmiştir. ODTÜ-Mikroelektronik Tesisleri veya kısaca ODTÜ-MET adını alan bu tesislerin
MEMS teknolojisi geliştirmesi ve endüstriyel ürünler üretmesi için altyapısının MEMS’e
uygun bir şekilde geliştirilmesi gerekmektedir. MEMS altyapısı için gereken finansmanın
önemli bir kısmı, 2002 yılında başlayan bir DPT projesi sayesinde sağlanmıştır.

Tesislere alınan yeni bir litografi cihazı ile 4 inç ve 6 inç çaplı silisyum disklerde mikromekanik
hatların 1m’nin altında bir hassasiyet ile oluşturulması mümkün olabilmektedir. MEMS için
gerekli çok kritik diğer bazı cihazlar da DPT tarafından desteklenen proje sayesinde alım
aşamasındadır. Bunlardan MEMS Derin Kuru Aşındırma Cihazı’nın alımı tamamlanmış ve
çalışmaya başlamıştır. Bu cihaz Türkiye’de birtek ODTÜ-MET’de bulunmaktadır ve çok hassas
üç boyutlu mikromekanik yapılar yapılabilmektedir. ODTÜ-MET’te geliştirilen altyapının
endüstriyel boyutlarda üretim yapmak üzere kullanılabilmesi için yurtiçi ve yurtdışı firmalar
ile yoğun temaslar sürmektedir.




                                           Ufuk Kılıç
                                       www.ufukkilic.com.tr
Atatürk’ün 3 boyutlu mikro imzası. İmza’nın genişliği saç çapı boyutlarındadır. Bu imza
ODTÜ’ye DPT desteği ile alınan ve Türkiye’de tek olan MEMS Derin Kuru Aşındırma Cihazı ile
                                        üretilmiştir.




  ODTÜ’de üretilen 3 boyutlu mikro Türk Bayrağı. Bayrağın boyutu saç çapı ile orantılıdır.




                                        Ufuk Kılıç
                                    www.ufukkilic.com.tr
ODTÜ’de Geliştirilen MEMS Ürünleri

ODTÜ'de MEMS teknolojisi ile hem askeri hem de sivil kulanım alanı olan ürünler
geliştirilmektedir. Bu ürünlerden iki tanesi kritik teknolojidir ve savunma sanayinin dışa
bağımlılığını azaltmak için kullanılabilecektir. Bunlardan birincisi çok ucuz maliyeti olan ve
oda sıcaklığında çalışabilen gece görüş amaçlı soğutmasız kızılötesi detektörlerdir. Bu
detektörler, CMOS üretiminden gelmiş çiplerin silisyum mikroişleme teknolojileri ile kimyasal
işleme tutulması ile elde edilebilmektedir. Üretim yöntemi CMOS tabanlı olduğundan,
detektör dizinlerinin fiyatları çok ucuza gelebilmektedir. Gece görüş amaçlı geliştirilen bu
detektörlerin savunma amaçlı olamayan bir çok endüstriyel uygulama alanı da
bulunmaktadır.

Kritik teknoloji ile geliştirilen ikinci ürün mikroişlenmiş dönüölçerlerdir. Jiroskop diye de
bilinen dönüölçerler açısal dönmeyi ölçen aletlerdir ve bir çok askeri uygulamada kullanım
yeri bulmaktadır. ODTÜ'de tasarlanarak ilk aşamada yurtdışında ürettirilen dönüölçerler
Avrupa'daki bir yarışmada birincilik ödülü kazanmıştır. Bu yarışma 2001 yılında DATE (Design,
Automation, and Test in Europe) adlı konferans ile Fransadaki CMP adlı mikroelektronik
merkezi tarafından üniversitelerde MEMS ve mikronalti CMOS entegre devre tasarımı gibi
ileri teknolojilerde araştırma ve geliştirmeyi teşvik etmek amacıyla düzenlenmiştir.

ODTÜ’de yapılan bir başka dönüölçer tasarımı ise ABD'de bulunan MEMGen adlı şirketin
2003 yılında düzenlediği "3-D MEMS Design Challenge" adlı yarışmasında 25 ülkeden yapılan
132 başvuru arasında üçüncülük ödülünü kazanmıştır. ODTÜ’de önceleri sadece tasarımları
yapılan dönüölçerler, üretim teknolojilerinin de ODTÜ'de geliştirilmesi ile tamamiyle
ülkemizde üretilebilir hale gelmiştir. Dönüölçerlerin de otomotiv sanayii gibi diğer uygulama
alanları mevcuttur ve bazı otomotiv şirketleri ODTÜ'deki MEMS çalışmalarına bu amaçla ilgi
göstermektedir. Halen ODTÜ'de geliştirilen üçüncü endüstiyel ürün, beyaz eşyalarda
kullanılabilecek olan basınç ve sıcaklık duyarga modülüdür.

Bunların dışında, nem duyargası ve RF MEMS devre elemanları (anahtarlar, faz kaydırıcılar,
faz dizili antenler) gibi diğer ürünler de ODTÜ’de geliştirilmektedir. Bu ürünlerin endüstiyel
boyutta üretimi ODTÜ-MET tesislerinin altyapısının geliştirilmesi ile mümkün olabilecektir ve
halen bu yönde çabalar devam etmektedir. Bunun gerçekleşmesi durumunda, hem 40
Milyon A.B.D. doları harcanmış tesisler ekonomik olarak kullanılabilir hale gelecektir, hem de
mikroelektronik üretimi konusunda dünyada hiçbir söz sahibi olamayan Türkiye
mikroelektroniğe benzer bir potansiyeli olan MEMS konusunda dünya ekonomisinde bir yer
edinebilecektir.




                                         Ufuk Kılıç
                                     www.ufukkilic.com.tr
kollar

                                                               ısıl emici

                                                                             n-kuyu
                                                                            detektör
                                                   Aşındırılmış bölge




Gece görüş kameralarında kullanılmak üzere CMOS ve MEMS teknolojisi ile gerçekleştirilmiş
soğutmasız kızılötesi detektör dizini. Havadaki mikroköprü yapıları kızılötesi ışığı soğurarak
n-kuyu yapıların sıcaklığını artırmaktadır. Her bir mikroköprü yapısı saç çapından küçük bir
                                    bölgeye sığmaktadır.




   MEMS teknolojisi ile geliştirilmiş mikrojiroskop. Bu çalışma Avrupa'da düzenlenen bir
    yarışmanın mikrosistemler kategorisinde birincilik ödülü almıştır. Parmak yapılarının
boyutları 2 mikrometre kadar hassas yapılabilmektedir (saç çapı yaklaşık 100 mikrometredir).




                                        Ufuk Kılıç
                                    www.ufukkilic.com.tr
ODTÜ-MET’deki altyapının geliştirilmesinden sonra üretilebilen 200 mikrometre yüksekliğinde
ve 5 mikrometre genişliğindeki mikromekanik yapılar. MEMS Derin Kuru Aşındırma Cihazı ile
         üretilen bu yapılar hareket edebilmektedir ve dönüölçer ve ivmeölçerlerin
                           gerçekleştirilmesinde kullanılmaktadır.




                                       Ufuk Kılıç
                                   www.ufukkilic.com.tr
MEMS teknolojisi ile yapılmış bir mikromotoru tutan bir karınca. Bu resim MEMS teknolojisi
ile yapılan mikromekanik yapıların hassasiyetini göstermektedir. Yapı Almanya'da geliştirilen
                        LIGA diye adlandırılan yöntemi ile üretilmiştir.




                                        Ufuk Kılıç
                                    www.ufukkilic.com.tr
ÖYK kararı ile ODTÜ'ye devredilen ODTÜ-MET tesislerinden bir görüntü. Tesisler
yurdumuzdaki ilk ve tek mikroelektronik üretim yatırımıdır ve şu ana kadar 40 Milyon A.B.D.
  doları aşkın bir yatırım harcaması yapılmıştır. ODTÜ şu ana kadar atıl kalan bu tesisleri
    göreceli olarak az bir ek yatırımla MEMS teknolojisi için kullanmayı ve ekonomimize
                                kazandırmayı hedeflemektedir.




                                               ODTÜ-MET tesislerinde beyazeşya ürünleri
                                                için geliştirilen basınç ve sıcaklık duyarga
                                              modülü. Soldaki resim silisyum çipin arkadan
                                                     görüntüsünü ve diyaframın nasıl
                                               oluşturulduğunu göstermektedir. Sağdaki
                                                 resim duyarda çipin nasıl paketlendiğini
                                                               göstermektedir.




                                       Ufuk Kılıç
                                   www.ufukkilic.com.tr
ODTÜ-MEMS grubu tarafından geliştirilen kapasitif basınç duyargalarının bir parmak
üzerindeki resmi. Resimde 12 tanesi yanyana duran bu duyargalar, damarların içine
       girebilecek kadar küçüktür ve kan basıncını ölçmek için kullanılabilir.




                                   Ufuk Kılıç
                               www.ufukkilic.com.tr

Mais conteúdo relacionado

Mais procurados

E-mobility | Part 4 - EV charging and the next frontier (English)
E-mobility | Part 4 - EV charging and the next frontier (English)E-mobility | Part 4 - EV charging and the next frontier (English)
E-mobility | Part 4 - EV charging and the next frontier (English)Vertex Holdings
 
E-mobility | Part 2 - Battery Technology & Alternative Innovations (English)
E-mobility | Part 2 - Battery Technology & Alternative Innovations (English)E-mobility | Part 2 - Battery Technology & Alternative Innovations (English)
E-mobility | Part 2 - Battery Technology & Alternative Innovations (English)Vertex Holdings
 
MICROBIAL BATTERY RECYCLING
MICROBIAL BATTERY RECYCLINGMICROBIAL BATTERY RECYCLING
MICROBIAL BATTERY RECYCLINGDesignTeam8
 
Electrical Vehicles| EV| All you need to know| May 2020
Electrical Vehicles| EV| All you need to know| May 2020Electrical Vehicles| EV| All you need to know| May 2020
Electrical Vehicles| EV| All you need to know| May 2020paul young cpa, cga
 
Electric vehicles in India (Report)
Electric vehicles in India (Report) Electric vehicles in India (Report)
Electric vehicles in India (Report) Arpit Kurel
 
CAN RECYCLING FILL THE RAW MATERIAL SUPPLY GAP?
CAN RECYCLING FILL THE RAW MATERIAL SUPPLY GAP?CAN RECYCLING FILL THE RAW MATERIAL SUPPLY GAP?
CAN RECYCLING FILL THE RAW MATERIAL SUPPLY GAP?iQHub
 
THE ALL-SOLID-STATE LITHIUM-ION BATTERY FACTORY
THE ALL-SOLID-STATE LITHIUM-ION BATTERY FACTORYTHE ALL-SOLID-STATE LITHIUM-ION BATTERY FACTORY
THE ALL-SOLID-STATE LITHIUM-ION BATTERY FACTORYiQHub
 
AC PERFORMANCE OF NANO ELECTRONICS SEMINAR REPORT
AC PERFORMANCE OF NANO ELECTRONICS SEMINAR REPORTAC PERFORMANCE OF NANO ELECTRONICS SEMINAR REPORT
AC PERFORMANCE OF NANO ELECTRONICS SEMINAR REPORTgautam221094
 
EV Charging Infrastructure: Littelfuse Solutions to Enhance Safety, Efficienc...
EV Charging Infrastructure: Littelfuse Solutions to Enhance Safety, Efficienc...EV Charging Infrastructure: Littelfuse Solutions to Enhance Safety, Efficienc...
EV Charging Infrastructure: Littelfuse Solutions to Enhance Safety, Efficienc...Littelfuse
 
Lithium Sulfur Battery: Current Status and Future Prospects.
Lithium Sulfur Battery: Current Status and Future Prospects.Lithium Sulfur Battery: Current Status and Future Prospects.
Lithium Sulfur Battery: Current Status and Future Prospects.Toru Hara
 
Radar and Wireless for Automotive: Market and Technology Trends 2019 report b...
Radar and Wireless for Automotive: Market and Technology Trends 2019 report b...Radar and Wireless for Automotive: Market and Technology Trends 2019 report b...
Radar and Wireless for Automotive: Market and Technology Trends 2019 report b...Yole Developpement
 
Ultracapacitors or Supercapacitors
Ultracapacitors or SupercapacitorsUltracapacitors or Supercapacitors
Ultracapacitors or SupercapacitorsVikAs DeshmuKh
 
"Battery Charging -To Swap, or not to Swap, that is the question"
"Battery Charging -To Swap, or not to Swap, that is the question""Battery Charging -To Swap, or not to Swap, that is the question"
"Battery Charging -To Swap, or not to Swap, that is the question"Aspiration Cleantech Ventures
 
NMC Lithium-Ion Batteries Patent Landscape SAMPLE
NMC Lithium-Ion Batteries Patent Landscape SAMPLENMC Lithium-Ion Batteries Patent Landscape SAMPLE
NMC Lithium-Ion Batteries Patent Landscape SAMPLEKnowmade
 
THE PATH TOWARDS THE US BATTERY SUPPLY CHAIN INDEPENDENCE
THE PATH TOWARDS THE US BATTERY SUPPLY CHAIN INDEPENDENCETHE PATH TOWARDS THE US BATTERY SUPPLY CHAIN INDEPENDENCE
THE PATH TOWARDS THE US BATTERY SUPPLY CHAIN INDEPENDENCEiQHub
 

Mais procurados (19)

E-mobility | Part 4 - EV charging and the next frontier (English)
E-mobility | Part 4 - EV charging and the next frontier (English)E-mobility | Part 4 - EV charging and the next frontier (English)
E-mobility | Part 4 - EV charging and the next frontier (English)
 
NTAMC
NTAMCNTAMC
NTAMC
 
E-mobility | Part 2 - Battery Technology & Alternative Innovations (English)
E-mobility | Part 2 - Battery Technology & Alternative Innovations (English)E-mobility | Part 2 - Battery Technology & Alternative Innovations (English)
E-mobility | Part 2 - Battery Technology & Alternative Innovations (English)
 
Smart Batteries
Smart BatteriesSmart Batteries
Smart Batteries
 
MICROBIAL BATTERY RECYCLING
MICROBIAL BATTERY RECYCLINGMICROBIAL BATTERY RECYCLING
MICROBIAL BATTERY RECYCLING
 
Electrical Vehicles| EV| All you need to know| May 2020
Electrical Vehicles| EV| All you need to know| May 2020Electrical Vehicles| EV| All you need to know| May 2020
Electrical Vehicles| EV| All you need to know| May 2020
 
Electric vehicles in India (Report)
Electric vehicles in India (Report) Electric vehicles in India (Report)
Electric vehicles in India (Report)
 
CAN RECYCLING FILL THE RAW MATERIAL SUPPLY GAP?
CAN RECYCLING FILL THE RAW MATERIAL SUPPLY GAP?CAN RECYCLING FILL THE RAW MATERIAL SUPPLY GAP?
CAN RECYCLING FILL THE RAW MATERIAL SUPPLY GAP?
 
THE ALL-SOLID-STATE LITHIUM-ION BATTERY FACTORY
THE ALL-SOLID-STATE LITHIUM-ION BATTERY FACTORYTHE ALL-SOLID-STATE LITHIUM-ION BATTERY FACTORY
THE ALL-SOLID-STATE LITHIUM-ION BATTERY FACTORY
 
Gogoro (1)
Gogoro (1)Gogoro (1)
Gogoro (1)
 
AC PERFORMANCE OF NANO ELECTRONICS SEMINAR REPORT
AC PERFORMANCE OF NANO ELECTRONICS SEMINAR REPORTAC PERFORMANCE OF NANO ELECTRONICS SEMINAR REPORT
AC PERFORMANCE OF NANO ELECTRONICS SEMINAR REPORT
 
EV Charging Infrastructure: Littelfuse Solutions to Enhance Safety, Efficienc...
EV Charging Infrastructure: Littelfuse Solutions to Enhance Safety, Efficienc...EV Charging Infrastructure: Littelfuse Solutions to Enhance Safety, Efficienc...
EV Charging Infrastructure: Littelfuse Solutions to Enhance Safety, Efficienc...
 
Lithium Sulfur Battery: Current Status and Future Prospects.
Lithium Sulfur Battery: Current Status and Future Prospects.Lithium Sulfur Battery: Current Status and Future Prospects.
Lithium Sulfur Battery: Current Status and Future Prospects.
 
Radar and Wireless for Automotive: Market and Technology Trends 2019 report b...
Radar and Wireless for Automotive: Market and Technology Trends 2019 report b...Radar and Wireless for Automotive: Market and Technology Trends 2019 report b...
Radar and Wireless for Automotive: Market and Technology Trends 2019 report b...
 
Ultracapacitors or Supercapacitors
Ultracapacitors or SupercapacitorsUltracapacitors or Supercapacitors
Ultracapacitors or Supercapacitors
 
"Battery Charging -To Swap, or not to Swap, that is the question"
"Battery Charging -To Swap, or not to Swap, that is the question""Battery Charging -To Swap, or not to Swap, that is the question"
"Battery Charging -To Swap, or not to Swap, that is the question"
 
NMC Lithium-Ion Batteries Patent Landscape SAMPLE
NMC Lithium-Ion Batteries Patent Landscape SAMPLENMC Lithium-Ion Batteries Patent Landscape SAMPLE
NMC Lithium-Ion Batteries Patent Landscape SAMPLE
 
Electric Vehicles Ppt.pptx
Electric Vehicles Ppt.pptxElectric Vehicles Ppt.pptx
Electric Vehicles Ppt.pptx
 
THE PATH TOWARDS THE US BATTERY SUPPLY CHAIN INDEPENDENCE
THE PATH TOWARDS THE US BATTERY SUPPLY CHAIN INDEPENDENCETHE PATH TOWARDS THE US BATTERY SUPPLY CHAIN INDEPENDENCE
THE PATH TOWARDS THE US BATTERY SUPPLY CHAIN INDEPENDENCE
 

Semelhante a Mikro Sistem Teknolojileri ve Gelecek

MAXSOLAR ENERGY SAN. TİC. A.Ş FİZİBİLİTE ÇALIŞMASI
MAXSOLAR ENERGY SAN. TİC. A.Ş FİZİBİLİTE ÇALIŞMASIMAXSOLAR ENERGY SAN. TİC. A.Ş FİZİBİLİTE ÇALIŞMASI
MAXSOLAR ENERGY SAN. TİC. A.Ş FİZİBİLİTE ÇALIŞMASIFotovoltaik Enerji
 
guvenlik yonetim 118 (2).pdf
guvenlik yonetim 118 (2).pdfguvenlik yonetim 118 (2).pdf
guvenlik yonetim 118 (2).pdfYunusEmreKK1
 
guvenlik yonetim 118.pdf
guvenlik yonetim 118.pdfguvenlik yonetim 118.pdf
guvenlik yonetim 118.pdfYunusEmreKK1
 
Nanoteknoloji̇ ve uygulama alanlari BETÜL KURT
Nanoteknoloji̇ ve uygulama alanlari BETÜL KURTNanoteknoloji̇ ve uygulama alanlari BETÜL KURT
Nanoteknoloji̇ ve uygulama alanlari BETÜL KURTBetül KURT
 
Haberleşme teknikleri
Haberleşme teknikleriHaberleşme teknikleri
Haberleşme teknikleriErol Dizdar
 
Bilim ve teknoloji haberleri 3
Bilim ve teknoloji haberleri 3Bilim ve teknoloji haberleri 3
Bilim ve teknoloji haberleri 3osman keskin
 
Nükleer enerji santralinin yapı ve risklerinin araştırılması [fizik]
Nükleer enerji santralinin yapı ve risklerinin araştırılması [fizik]Nükleer enerji santralinin yapı ve risklerinin araştırılması [fizik]
Nükleer enerji santralinin yapı ve risklerinin araştırılması [fizik]Glmser
 
KritikaltyapıGÜZproje
KritikaltyapıGÜZprojeKritikaltyapıGÜZproje
KritikaltyapıGÜZprojeMehmet Doruk
 

Semelhante a Mikro Sistem Teknolojileri ve Gelecek (13)

Nanotıp
NanotıpNanotıp
Nanotıp
 
MAXSOLAR ENERGY SAN. TİC. A.Ş FİZİBİLİTE ÇALIŞMASI
MAXSOLAR ENERGY SAN. TİC. A.Ş FİZİBİLİTE ÇALIŞMASIMAXSOLAR ENERGY SAN. TİC. A.Ş FİZİBİLİTE ÇALIŞMASI
MAXSOLAR ENERGY SAN. TİC. A.Ş FİZİBİLİTE ÇALIŞMASI
 
guvenlik yonetim 118 (2).pdf
guvenlik yonetim 118 (2).pdfguvenlik yonetim 118 (2).pdf
guvenlik yonetim 118 (2).pdf
 
guvenlik yonetim 118.pdf
guvenlik yonetim 118.pdfguvenlik yonetim 118.pdf
guvenlik yonetim 118.pdf
 
Nanoteknoloji̇ ve uygulama alanlari BETÜL KURT
Nanoteknoloji̇ ve uygulama alanlari BETÜL KURTNanoteknoloji̇ ve uygulama alanlari BETÜL KURT
Nanoteknoloji̇ ve uygulama alanlari BETÜL KURT
 
Haberleşme teknikleri
Haberleşme teknikleriHaberleşme teknikleri
Haberleşme teknikleri
 
Bilim ve teknoloji haberleri 3
Bilim ve teknoloji haberleri 3Bilim ve teknoloji haberleri 3
Bilim ve teknoloji haberleri 3
 
Nanoteknoloji
NanoteknolojiNanoteknoloji
Nanoteknoloji
 
Nükleer enerji santralinin yapı ve risklerinin araştırılması [fizik]
Nükleer enerji santralinin yapı ve risklerinin araştırılması [fizik]Nükleer enerji santralinin yapı ve risklerinin araştırılması [fizik]
Nükleer enerji santralinin yapı ve risklerinin araştırılması [fizik]
 
Rasit Turan
Rasit TuranRasit Turan
Rasit Turan
 
YENİ TEMEL TEKNOLOJİLER
YENİ TEMEL TEKNOLOJİLERYENİ TEMEL TEKNOLOJİLER
YENİ TEMEL TEKNOLOJİLER
 
KritikaltyapıGÜZproje
KritikaltyapıGÜZprojeKritikaltyapıGÜZproje
KritikaltyapıGÜZproje
 
Bakir kablolar
Bakir kablolarBakir kablolar
Bakir kablolar
 

Mais de Ufuk Kılıç

Cahit Arf - "Makineler Düşünebilir mi ve Nasıl Düşünebilir?"
Cahit Arf - "Makineler Düşünebilir mi ve Nasıl Düşünebilir?"Cahit Arf - "Makineler Düşünebilir mi ve Nasıl Düşünebilir?"
Cahit Arf - "Makineler Düşünebilir mi ve Nasıl Düşünebilir?"Ufuk Kılıç
 
Bilim, Teknoloji ve Sanayide Türkiye’nin Durumu
Bilim, Teknoloji ve Sanayide Türkiye’nin DurumuBilim, Teknoloji ve Sanayide Türkiye’nin Durumu
Bilim, Teknoloji ve Sanayide Türkiye’nin DurumuUfuk Kılıç
 
The Super-Cycle Report
The Super-Cycle ReportThe Super-Cycle Report
The Super-Cycle ReportUfuk Kılıç
 
Türkiye İnternet Ekonomisi Raporu
Türkiye İnternet Ekonomisi RaporuTürkiye İnternet Ekonomisi Raporu
Türkiye İnternet Ekonomisi RaporuUfuk Kılıç
 
Bilgi Toplumuna Dönüşüm Politikası
Bilgi Toplumuna Dönüşüm PolitikasıBilgi Toplumuna Dönüşüm Politikası
Bilgi Toplumuna Dönüşüm PolitikasıUfuk Kılıç
 
Türkiye Bilişim Vakfı’nın Görüşleri ile Eğitim'de Fatih Projesi
Türkiye Bilişim Vakfı’nın Görüşleri ile Eğitim'de Fatih ProjesiTürkiye Bilişim Vakfı’nın Görüşleri ile Eğitim'de Fatih Projesi
Türkiye Bilişim Vakfı’nın Görüşleri ile Eğitim'de Fatih ProjesiUfuk Kılıç
 
TÜSİAD - Vizyon 2050 Türkiye
TÜSİAD - Vizyon 2050 TürkiyeTÜSİAD - Vizyon 2050 Türkiye
TÜSİAD - Vizyon 2050 TürkiyeUfuk Kılıç
 
A Strategy for American Innovation
A Strategy for American InnovationA Strategy for American Innovation
A Strategy for American InnovationUfuk Kılıç
 
CHP - Bilgi Toplumuna Doğru Bilgi ve İletişim Teknolojileri Raporu
CHP - Bilgi Toplumuna Doğru Bilgi ve İletişim Teknolojileri RaporuCHP - Bilgi Toplumuna Doğru Bilgi ve İletişim Teknolojileri Raporu
CHP - Bilgi Toplumuna Doğru Bilgi ve İletişim Teknolojileri RaporuUfuk Kılıç
 
Web 2.0 in the Enterprise
Web 2.0 in the EnterpriseWeb 2.0 in the Enterprise
Web 2.0 in the EnterpriseUfuk Kılıç
 
Dijital Çağ için Dönüşüm Gündemi - 2020 Dijital Avrupa Vizyonu
Dijital Çağ için Dönüşüm Gündemi - 2020 Dijital Avrupa VizyonuDijital Çağ için Dönüşüm Gündemi - 2020 Dijital Avrupa Vizyonu
Dijital Çağ için Dönüşüm Gündemi - 2020 Dijital Avrupa VizyonuUfuk Kılıç
 
The Evolving Internet: A look ahead to 2025
The Evolving Internet: A look ahead to 2025The Evolving Internet: A look ahead to 2025
The Evolving Internet: A look ahead to 2025Ufuk Kılıç
 
Technology management
Technology managementTechnology management
Technology managementUfuk Kılıç
 

Mais de Ufuk Kılıç (14)

Cahit Arf - "Makineler Düşünebilir mi ve Nasıl Düşünebilir?"
Cahit Arf - "Makineler Düşünebilir mi ve Nasıl Düşünebilir?"Cahit Arf - "Makineler Düşünebilir mi ve Nasıl Düşünebilir?"
Cahit Arf - "Makineler Düşünebilir mi ve Nasıl Düşünebilir?"
 
Bilim, Teknoloji ve Sanayide Türkiye’nin Durumu
Bilim, Teknoloji ve Sanayide Türkiye’nin DurumuBilim, Teknoloji ve Sanayide Türkiye’nin Durumu
Bilim, Teknoloji ve Sanayide Türkiye’nin Durumu
 
The Super-Cycle Report
The Super-Cycle ReportThe Super-Cycle Report
The Super-Cycle Report
 
Türkiye İnternet Ekonomisi Raporu
Türkiye İnternet Ekonomisi RaporuTürkiye İnternet Ekonomisi Raporu
Türkiye İnternet Ekonomisi Raporu
 
Bilgi Toplumuna Dönüşüm Politikası
Bilgi Toplumuna Dönüşüm PolitikasıBilgi Toplumuna Dönüşüm Politikası
Bilgi Toplumuna Dönüşüm Politikası
 
Türkiye Bilişim Vakfı’nın Görüşleri ile Eğitim'de Fatih Projesi
Türkiye Bilişim Vakfı’nın Görüşleri ile Eğitim'de Fatih ProjesiTürkiye Bilişim Vakfı’nın Görüşleri ile Eğitim'de Fatih Projesi
Türkiye Bilişim Vakfı’nın Görüşleri ile Eğitim'de Fatih Projesi
 
TÜSİAD - Vizyon 2050 Türkiye
TÜSİAD - Vizyon 2050 TürkiyeTÜSİAD - Vizyon 2050 Türkiye
TÜSİAD - Vizyon 2050 Türkiye
 
A Strategy for American Innovation
A Strategy for American InnovationA Strategy for American Innovation
A Strategy for American Innovation
 
CIO Olmak
CIO OlmakCIO Olmak
CIO Olmak
 
CHP - Bilgi Toplumuna Doğru Bilgi ve İletişim Teknolojileri Raporu
CHP - Bilgi Toplumuna Doğru Bilgi ve İletişim Teknolojileri RaporuCHP - Bilgi Toplumuna Doğru Bilgi ve İletişim Teknolojileri Raporu
CHP - Bilgi Toplumuna Doğru Bilgi ve İletişim Teknolojileri Raporu
 
Web 2.0 in the Enterprise
Web 2.0 in the EnterpriseWeb 2.0 in the Enterprise
Web 2.0 in the Enterprise
 
Dijital Çağ için Dönüşüm Gündemi - 2020 Dijital Avrupa Vizyonu
Dijital Çağ için Dönüşüm Gündemi - 2020 Dijital Avrupa VizyonuDijital Çağ için Dönüşüm Gündemi - 2020 Dijital Avrupa Vizyonu
Dijital Çağ için Dönüşüm Gündemi - 2020 Dijital Avrupa Vizyonu
 
The Evolving Internet: A look ahead to 2025
The Evolving Internet: A look ahead to 2025The Evolving Internet: A look ahead to 2025
The Evolving Internet: A look ahead to 2025
 
Technology management
Technology managementTechnology management
Technology management
 

Mikro Sistem Teknolojileri ve Gelecek

  • 1. Mikrosistem Teknolojileri ve MEMS Ufuk Kılıç www.ufukkilic.com.tr
  • 2. Mikrosistem Teknolojileri ve MEMS Mikroelektronik ve mikroçip teknolojisinde son 20-30 yıldaki atılım sonucunda yaşantı şeklimiz çok etkilendi ve bugün küçük cep telefonları, bilgisayarlar ve internet hayatımızın vazgeçilmez parçaları oldular. Bugün benzer bir atılımın, kısaca MEMS diye adlandırılan Mikro Elektro Mekanik Sistemler adlı teknoloji sayesinde gerçekleşeceği beklenmektedir. Bu teknoloji sayesinde mikroçipler üzerinde sadece mikroelektronik entegre devreler değil, mikromekanik yapılar da yapılabilmektedir. Böylece hem mikroduyargalar (mikrosensör) ve mikroeyleyiciler (microactuator) hem de elektronik devre bir çip içinde yapılabilmekte, yani sistem fiyatı ve boyutları çip kadar ucuz ve çip kadar küçük olabilmektedir. MEMS Teknolojisinin Uygulama Alanları MEMS teknolojisinin uygulama alanları çok çeşitlidir ve bu teknolojinin hem askeri hem de sivil kullanım alanları vardır. Otomotiv, biyomedikal, telekominikasyon, beyaz eşya ve bilişim teknolojileri gibi birçok konuda MEMS teknolojisi sayesinde devrim niteliğinde gelişmeler olmaya başlamıştır. Uygulama alanlarının genişliği, ucuz üretim potansiyeli, yüksek performans elde edilebilmesinden dolayı, MEMS teknolojisi savunma endüstrisinin de ilgisini çekmiştir. Bu konuda A.B.D. Savunma Bakanlığı’nın hazırladığı bir rapor, MEMS teknolojilerinin savunma sanayiinde ne kadar geniş bir kullanım alanı bulacağını çok çarpıcı bir şekilde ortaya koymuştur. MEMS halen günlük hayatımıza girmiştir. Bugün otomotiv sektöründe kullanılan ve kaza anını tesbit ederek hava yastıklarının açılması bilgisini üreten ivmeölçerler (accelerometer) MEMS teknolojisi ile 3mmx3mm boyutlarındaki bir silisyum yonga üzerinde elektronik devresi ile birlikte üretilebilmekte ve birkaç dolara mal olmaktadır. Bu sayede eskiden sadece çok pahalı arabalarda olan hava yastıkları bugün birçok otomobilde bulunabilmektedir. Bilgisayar yazıcılarındaki ucuzlama, bilgisayar hafızalarındaki ani artış da MEMS teknolojisi ile olmuştur. Bu teknoloji ile fiber optik iletişimde veri aktarımı sırasında anahtarlamanın daha hızlı olması için mikroaynalar geliştirilmektedir, böylece internet iletişimi bugünkünün 20 katı kadar daha hızlı olabilecektir. Ayrıca, vücut içine yerleştirilebilen ve sinir uçlarını uyararak görme ve duyma fonksiyonlarını sağlayabilecek mikroelektrodlar, kan damarlarındaki tıkanıklıkları açabilecek mikromotorlar veya kandaki şeker miktarını ölçerek vücut içinde bulunan insülini mikromusluk yardımı ile kontrollü açarak vücudun iyileşmesini sağlayacak biyomedikal mikrocihazlar da MEMS ile mümkün olacaktır. Bunların haricinde, günlük hayatımızı her alanda etkileyecek çok ucuz mikrosistemler MEMS teknolojisi ile gerçekleştirilebilecektir. Dolayısı ile mikroelektronik nasıl çağımızı etkilediyse ve yaşantımızı değiştirdiyse, MEMS teknolojisinin de 21. Yüzyıl'ı benzer şekilde etkileyeceği düşünülmektedir. Hızlı bir ivme ile büyüyen MEMS pazarının 2002 yılında 38 milyar dolara ulaştığı gözlemlenerek bu rakamın 2006 yılında ise 68 milyar dolara ulaştığı net raporlar ile belgelenmiştir. Ufuk Kılıç www.ufukkilic.com.tr
  • 3. ODTÜ’de MEMS Çalışmaları ODTÜ'de MEMS çalışmaları Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümünde bulunan ODTÜ-MEMS Grubu tarafından yürütülmektedir. Bu çalışmalar, Michigan Üniversitesi'nde yüksek lisans ve doktora çalışmalarını tamamladıktan sonra 1995 yılında Türkiye'ye dönen Doç. Dr. Tayfun Akın tarafından başlatmıştır. İlk önce NATO İstikrar için Bilim (NATO-SfS) Programı, ABD Ulusal Bilim Kurumu (National Science Foundation, NSF) gibi uluslararası kuruluşlar tarafından desteklenen bu çalışmalar daha sonra ulusal kuruluşların ilgisini çekmiştir. ODTÜ'deki MEMS çalışmaları Milli Savunma Bakanlığı Ar-Ge ve Teknoloji Dairesi, TÜBİTAK, DPT, Arçelik ve Aselsan tarafından desteklenmektedir. ODTÜ'de MEMS konusunda 2 doktora ve 17 yüksek lisans tezi tamamlanmıştır ve şu anda devam eden 7 doktora ve 13 yüksek lisans tez çalışması bulunmaktadır. Bu tezler ve projeler sayesinde ODTÜ'de MEMS konusunda çok önemli bir bilgi birikimi ve araştırmacı kadrosu oluşmuştur. Ayrıca MEMS tasarımı konusunda ODTÜ'de her türlü yazılım ve donanım altyapısı bulunmaktadır. ODTÜ Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümü’nde oluşturulan 30 m2’lik küçük bir temizodada MEMS ve ileri yarıiletken malzemeler üzerine prototip geliştirme çalışmaları yapılabilmektedir. MEMS konusundaki çalışmaların endüstriyel bir boyuta taşınması için ODTÜ, TESTAŞ'a ait olan, 40 milyon ABD doları yatırılmış fakat atıl duran bir mikroelektronik tesisini hükümetten talep etmiştir. Bu tesisler 1998 yılında Özelleştirme Yüksek Kurulu tarafından ODTÜ'ye devredilmiştir. ODTÜ-Mikroelektronik Tesisleri veya kısaca ODTÜ-MET adını alan bu tesislerin MEMS teknolojisi geliştirmesi ve endüstriyel ürünler üretmesi için altyapısının MEMS’e uygun bir şekilde geliştirilmesi gerekmektedir. MEMS altyapısı için gereken finansmanın önemli bir kısmı, 2002 yılında başlayan bir DPT projesi sayesinde sağlanmıştır. Tesislere alınan yeni bir litografi cihazı ile 4 inç ve 6 inç çaplı silisyum disklerde mikromekanik hatların 1m’nin altında bir hassasiyet ile oluşturulması mümkün olabilmektedir. MEMS için gerekli çok kritik diğer bazı cihazlar da DPT tarafından desteklenen proje sayesinde alım aşamasındadır. Bunlardan MEMS Derin Kuru Aşındırma Cihazı’nın alımı tamamlanmış ve çalışmaya başlamıştır. Bu cihaz Türkiye’de birtek ODTÜ-MET’de bulunmaktadır ve çok hassas üç boyutlu mikromekanik yapılar yapılabilmektedir. ODTÜ-MET’te geliştirilen altyapının endüstriyel boyutlarda üretim yapmak üzere kullanılabilmesi için yurtiçi ve yurtdışı firmalar ile yoğun temaslar sürmektedir. Ufuk Kılıç www.ufukkilic.com.tr
  • 4. Atatürk’ün 3 boyutlu mikro imzası. İmza’nın genişliği saç çapı boyutlarındadır. Bu imza ODTÜ’ye DPT desteği ile alınan ve Türkiye’de tek olan MEMS Derin Kuru Aşındırma Cihazı ile üretilmiştir. ODTÜ’de üretilen 3 boyutlu mikro Türk Bayrağı. Bayrağın boyutu saç çapı ile orantılıdır. Ufuk Kılıç www.ufukkilic.com.tr
  • 5. ODTÜ’de Geliştirilen MEMS Ürünleri ODTÜ'de MEMS teknolojisi ile hem askeri hem de sivil kulanım alanı olan ürünler geliştirilmektedir. Bu ürünlerden iki tanesi kritik teknolojidir ve savunma sanayinin dışa bağımlılığını azaltmak için kullanılabilecektir. Bunlardan birincisi çok ucuz maliyeti olan ve oda sıcaklığında çalışabilen gece görüş amaçlı soğutmasız kızılötesi detektörlerdir. Bu detektörler, CMOS üretiminden gelmiş çiplerin silisyum mikroişleme teknolojileri ile kimyasal işleme tutulması ile elde edilebilmektedir. Üretim yöntemi CMOS tabanlı olduğundan, detektör dizinlerinin fiyatları çok ucuza gelebilmektedir. Gece görüş amaçlı geliştirilen bu detektörlerin savunma amaçlı olamayan bir çok endüstriyel uygulama alanı da bulunmaktadır. Kritik teknoloji ile geliştirilen ikinci ürün mikroişlenmiş dönüölçerlerdir. Jiroskop diye de bilinen dönüölçerler açısal dönmeyi ölçen aletlerdir ve bir çok askeri uygulamada kullanım yeri bulmaktadır. ODTÜ'de tasarlanarak ilk aşamada yurtdışında ürettirilen dönüölçerler Avrupa'daki bir yarışmada birincilik ödülü kazanmıştır. Bu yarışma 2001 yılında DATE (Design, Automation, and Test in Europe) adlı konferans ile Fransadaki CMP adlı mikroelektronik merkezi tarafından üniversitelerde MEMS ve mikronalti CMOS entegre devre tasarımı gibi ileri teknolojilerde araştırma ve geliştirmeyi teşvik etmek amacıyla düzenlenmiştir. ODTÜ’de yapılan bir başka dönüölçer tasarımı ise ABD'de bulunan MEMGen adlı şirketin 2003 yılında düzenlediği "3-D MEMS Design Challenge" adlı yarışmasında 25 ülkeden yapılan 132 başvuru arasında üçüncülük ödülünü kazanmıştır. ODTÜ’de önceleri sadece tasarımları yapılan dönüölçerler, üretim teknolojilerinin de ODTÜ'de geliştirilmesi ile tamamiyle ülkemizde üretilebilir hale gelmiştir. Dönüölçerlerin de otomotiv sanayii gibi diğer uygulama alanları mevcuttur ve bazı otomotiv şirketleri ODTÜ'deki MEMS çalışmalarına bu amaçla ilgi göstermektedir. Halen ODTÜ'de geliştirilen üçüncü endüstiyel ürün, beyaz eşyalarda kullanılabilecek olan basınç ve sıcaklık duyarga modülüdür. Bunların dışında, nem duyargası ve RF MEMS devre elemanları (anahtarlar, faz kaydırıcılar, faz dizili antenler) gibi diğer ürünler de ODTÜ’de geliştirilmektedir. Bu ürünlerin endüstiyel boyutta üretimi ODTÜ-MET tesislerinin altyapısının geliştirilmesi ile mümkün olabilecektir ve halen bu yönde çabalar devam etmektedir. Bunun gerçekleşmesi durumunda, hem 40 Milyon A.B.D. doları harcanmış tesisler ekonomik olarak kullanılabilir hale gelecektir, hem de mikroelektronik üretimi konusunda dünyada hiçbir söz sahibi olamayan Türkiye mikroelektroniğe benzer bir potansiyeli olan MEMS konusunda dünya ekonomisinde bir yer edinebilecektir. Ufuk Kılıç www.ufukkilic.com.tr
  • 6. kollar ısıl emici n-kuyu detektör Aşındırılmış bölge Gece görüş kameralarında kullanılmak üzere CMOS ve MEMS teknolojisi ile gerçekleştirilmiş soğutmasız kızılötesi detektör dizini. Havadaki mikroköprü yapıları kızılötesi ışığı soğurarak n-kuyu yapıların sıcaklığını artırmaktadır. Her bir mikroköprü yapısı saç çapından küçük bir bölgeye sığmaktadır. MEMS teknolojisi ile geliştirilmiş mikrojiroskop. Bu çalışma Avrupa'da düzenlenen bir yarışmanın mikrosistemler kategorisinde birincilik ödülü almıştır. Parmak yapılarının boyutları 2 mikrometre kadar hassas yapılabilmektedir (saç çapı yaklaşık 100 mikrometredir). Ufuk Kılıç www.ufukkilic.com.tr
  • 7. ODTÜ-MET’deki altyapının geliştirilmesinden sonra üretilebilen 200 mikrometre yüksekliğinde ve 5 mikrometre genişliğindeki mikromekanik yapılar. MEMS Derin Kuru Aşındırma Cihazı ile üretilen bu yapılar hareket edebilmektedir ve dönüölçer ve ivmeölçerlerin gerçekleştirilmesinde kullanılmaktadır. Ufuk Kılıç www.ufukkilic.com.tr
  • 8. MEMS teknolojisi ile yapılmış bir mikromotoru tutan bir karınca. Bu resim MEMS teknolojisi ile yapılan mikromekanik yapıların hassasiyetini göstermektedir. Yapı Almanya'da geliştirilen LIGA diye adlandırılan yöntemi ile üretilmiştir. Ufuk Kılıç www.ufukkilic.com.tr
  • 9. ÖYK kararı ile ODTÜ'ye devredilen ODTÜ-MET tesislerinden bir görüntü. Tesisler yurdumuzdaki ilk ve tek mikroelektronik üretim yatırımıdır ve şu ana kadar 40 Milyon A.B.D. doları aşkın bir yatırım harcaması yapılmıştır. ODTÜ şu ana kadar atıl kalan bu tesisleri göreceli olarak az bir ek yatırımla MEMS teknolojisi için kullanmayı ve ekonomimize kazandırmayı hedeflemektedir. ODTÜ-MET tesislerinde beyazeşya ürünleri için geliştirilen basınç ve sıcaklık duyarga modülü. Soldaki resim silisyum çipin arkadan görüntüsünü ve diyaframın nasıl oluşturulduğunu göstermektedir. Sağdaki resim duyarda çipin nasıl paketlendiğini göstermektedir. Ufuk Kılıç www.ufukkilic.com.tr
  • 10. ODTÜ-MEMS grubu tarafından geliştirilen kapasitif basınç duyargalarının bir parmak üzerindeki resmi. Resimde 12 tanesi yanyana duran bu duyargalar, damarların içine girebilecek kadar küçüktür ve kan basıncını ölçmek için kullanılabilir. Ufuk Kılıç www.ufukkilic.com.tr