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Propriétés optiques de micro-disques à base de nitrures d’éléments III Stéphane Mattei 16 mars 2007 Directeur du projet : Prof. Nicolas Grandjean Assistants: Dr. Raphaël Butté Dobri Simeonov
Plan de la présentation ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion
Intérêt et caractéristiques des nitrures d’éléments III ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],Nitrures d’éléments III   –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion
Intérêt et caractéristiques des structures micro-disques ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion Modes de galerie ayant un facteur de qualité (Q =   /   élevé Gayral  et al. , APL 75(13) 1999 GaAs, diam. 3  µm Tamboli  et al. ,Nature Phot., 1, 2007 GaN sur InGaN, diam. 1.2  µm puits quantiques InGaN Q jusqu’à 3’700 puits quantiques InGaAs Q jusqu’à 2’000 boîtes quantiques InAs Q jusqu’à 12’000
Modes de galerie Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie   –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion
Modes de galerie «à chuchotement» ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie   –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion
Modes de galerie dans les micro-disques ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie   –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion
Classification des modes de galerie diam. 4  µm   WGM 92,4 diam. 1.2  µm   WGM 26,1 ,[object Object],[object Object],Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie   –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion Composante du champ électrique perpendiculaire ( E z ) au plan du disque diam. 1.2  µm   WGM 34,0
Fabrication des micro-disques Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication   –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion
Croissance par épitaxie en phase vapeur aux organométalliques (EPVOM) Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication   –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion
Processus de gravure Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication   –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion
Processus de gravure Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication   –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion
Structure finale fabriquée ,[object Object],[object Object],[object Object],Images par microscopie électronique à balayage Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication   –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion 1    m 1    m 0.2    m
Mesures optiques Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques   –  Simulations  -  Conclusion
Mesures optiques en micro-photoluminescence Pompage optique par un laser argon ionisé doublé à 244 nm (5 eV) ou par laser Nd-YAG à 266 nm (4.7 eV) Mesure par un spectromètre (monochromateur + CCD) Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques   –  Simulations  -  Conclusion
Emission spontanée dans les micro-disques Sans cavité optique Micro-disque 300 K, Puissance d’excitation ~ 200 W/cm 2 Q > 4000 Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques   –  Simulations  -  Conclusion
Emission stimulée dans les micro-disques Seuil d’émission laser Emission au-dessus du seuil 300 K Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques   –  Simulations  -  Conclusion
Observation de l’émission par microscopie optique Disque de 4  µm sous pompage optique par le laser Nd-YAG à 266 nm Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques   –  Simulations  -  Conclusion 0.1 MW/cm 2 juste en dessous du seuil 0.7 MW/cm 2 2 MW/cm 2 0 MW/cm 2 Seuil à ~0.4 MW/cm 2 augmentation de la puissance d’excitation
Motif d’émission ,[object Object],[object Object],[object Object],Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques   –  Simulations  -  Conclusion 4    m
Simulations numériques Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
Méthode des éléments finis ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
Méthodologie utilisée pour les simulations ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
Etude du confinement par le rayon Calcul de l’espacement modal: Il est important de faire la distinction R effectif   ≠ R disque  ! Condition de résonance des modes de galerie longitudinaux: Définition du paramètre    caractérisant le confinement du mode: Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
diminution lorsque la taille du disque augmente augmentation avec l’ordre azimutal  Dépendance du rapport    entre le rayon effectif et le rayon du disque Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
Distribution de l’amplitude du champ électrique dans le disque Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion Disque de 1.2  µm de diamètre, mode  WGM 34,0
Distribution de l’amplitude du champ électrique dans le disque Disque de 1.2  µm de diamètre, mode  WGM 26,1   Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
Etude des différences entre la structure de disque et de cône ,[object Object],Cône tronqué inversé Considéré sans pilier GaN Pas de substrat dans les deux cas Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
Comparaison du champ interne du disque et du cône Diamètre supérieur 4  µm Cône tronqué inversé Disque Coupe parallèle à la surface au milieu de la couche de GaN Coupe perpendiculaire à la surface passant par le centre WGM 22,0 WGM 24,0 Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
Comparaison du champ d’émission du disque et du cône Cône tronqué inversé Disque Logarithme du carré de l’amplitude Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
Évolution temporelle des modes Isolement des modes ayant un facteur de qualité élevé après la fuite des autres modes Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
Comparaison des modes résonnants obtenus par simulation avec un spectre expérimental Modes obtenus par simulation Cône tronqué inversé, diamètre supérieur 1.7  µm Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
Dispersion d’indice La dispersion n’est pas négligeable car on travaille proche du gap de GaN Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
Introduction de la dispersion d’indice avec dispersion d’indice sans dispersion d’indice Cône tronqué inversé, diamètre supérieur 2.1  µm Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations   -  Conclusion
Perspectives et conclusion ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],Nitrures d’éléments III  –  Micro-disques  –  Modes de galerie  –  Fabrication  –  Mesures optiques  –  Simulations  -  Conclusion

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Propriétés optiques de cavité micro-disques à base de nitrures d'éléments III

  • 1. Propriétés optiques de micro-disques à base de nitrures d’éléments III Stéphane Mattei 16 mars 2007 Directeur du projet : Prof. Nicolas Grandjean Assistants: Dr. Raphaël Butté Dobri Simeonov
  • 2.
  • 3.
  • 4.
  • 5. Modes de galerie Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 6.
  • 7.
  • 8.
  • 9. Fabrication des micro-disques Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 10. Croissance par épitaxie en phase vapeur aux organométalliques (EPVOM) Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 11. Processus de gravure Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 12. Processus de gravure Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 13.
  • 14. Mesures optiques Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 15. Mesures optiques en micro-photoluminescence Pompage optique par un laser argon ionisé doublé à 244 nm (5 eV) ou par laser Nd-YAG à 266 nm (4.7 eV) Mesure par un spectromètre (monochromateur + CCD) Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 16. Emission spontanée dans les micro-disques Sans cavité optique Micro-disque 300 K, Puissance d’excitation ~ 200 W/cm 2 Q > 4000 Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 17. Emission stimulée dans les micro-disques Seuil d’émission laser Emission au-dessus du seuil 300 K Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 18. Observation de l’émission par microscopie optique Disque de 4 µm sous pompage optique par le laser Nd-YAG à 266 nm Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion 0.1 MW/cm 2 juste en dessous du seuil 0.7 MW/cm 2 2 MW/cm 2 0 MW/cm 2 Seuil à ~0.4 MW/cm 2 augmentation de la puissance d’excitation
  • 19.
  • 20. Simulations numériques Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 21.
  • 22.
  • 23. Etude du confinement par le rayon Calcul de l’espacement modal: Il est important de faire la distinction R effectif ≠ R disque ! Condition de résonance des modes de galerie longitudinaux: Définition du paramètre  caractérisant le confinement du mode: Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 24. diminution lorsque la taille du disque augmente augmentation avec l’ordre azimutal Dépendance du rapport  entre le rayon effectif et le rayon du disque Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 25. Distribution de l’amplitude du champ électrique dans le disque Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion Disque de 1.2 µm de diamètre, mode WGM 34,0
  • 26. Distribution de l’amplitude du champ électrique dans le disque Disque de 1.2 µm de diamètre, mode WGM 26,1 Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 27.
  • 28. Comparaison du champ interne du disque et du cône Diamètre supérieur 4 µm Cône tronqué inversé Disque Coupe parallèle à la surface au milieu de la couche de GaN Coupe perpendiculaire à la surface passant par le centre WGM 22,0 WGM 24,0 Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 29. Comparaison du champ d’émission du disque et du cône Cône tronqué inversé Disque Logarithme du carré de l’amplitude Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 30. Évolution temporelle des modes Isolement des modes ayant un facteur de qualité élevé après la fuite des autres modes Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 31. Comparaison des modes résonnants obtenus par simulation avec un spectre expérimental Modes obtenus par simulation Cône tronqué inversé, diamètre supérieur 1.7 µm Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 32. Dispersion d’indice La dispersion n’est pas négligeable car on travaille proche du gap de GaN Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
  • 33. Introduction de la dispersion d’indice avec dispersion d’indice sans dispersion d’indice Cône tronqué inversé, diamètre supérieur 2.1 µm Nitrures d’éléments III – Micro-disques – Modes de galerie – Fabrication – Mesures optiques – Simulations - Conclusion
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