Breve historia y descripción de la tecnología de vacío

1. Breve introducción a la tecnología
del VACÍO, y su medida.
Joaquín Sevilla Moróder
Departamento Ingeniería
Eléctrica y Electrónica
Marzo, 2013

2. Vacío
Presiones inferiores a la atmosférica, pero especialmente las mucho menores
Presión Presión
manométrica absoluta
Presión
Presión Atmosférica (barométrica)
Vacío (presión manométrica negativa)
Presión
absoluta
Cero absoluto

3. Niveles de vacío

4. Historia del vacío
Evangelista
Torricelli (1608-
1647)

5. Hemisferios de Magdeburgo 1654
Otto van Guericke
b. Nov. 20, 1602, Magdeburg, Prussian Saxony [now in Germany]
d. May 11, 1686, Hamburg, Germany
http://chem.ch.huji.ac.il/~eugeniik/history/guericke.html

6. Historia del Vacío II

7. Características físicas vs. presion

12. Elementos fundamentales de un sistema de vacío

13. ¿Qué limita el vacío último?
Bajar la presión aproxima a la zona
gaseosa en cualquier material.
En último extremo, el material de la
cámara de vacío se evapora hacia el
interior. ¿Porqué no hay televisiones
con el tubo (CRT) de plástico?

14. Sistemas de medida de presión
Total
Parcial

15. Rangos de uso

16. Vacuómetros clásicos
Pirani De termopar Penning
Vacuómetro de Análogo al Pirani, más Por debajo de 10-3 Torr se automantiene
conductividad térmica: un barato y con menos una descarga (por alta tensión) en
hilo metálico en régimen de problemas de contaminación. presencia de un campo B (aumenta la
autocalentamiento, alcanza También hay que corregir por probabilidad de ionización las
el equilibrio a mayor tipo de gas. Algo menos trayectorias helicoidales). La corriente
temparatura si la presión preciso. de descarga es proporcional a la
es más baja. presión
Entre 50 y 10-3 Torr.
Entre 1 y 10-3 Torr. Entre 10-2 y 10-6 Torr.

17. Bombas de Vacío (mecánicas)

18. Bombas de Vacío (mecánicas)

19. Bombas de vacío (Difusora)

20. Bombas de Vacío (turbomolecular)