1. СОЦИАЛЬНО-ПЕДАГОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
БАБАЕВ ВАГИФ АЛИПУЛАТОВИЧ
Соискатель
Кафедра “Физика твердого тела”
Эпитаксиальный рост оксида цинка
на подложках лейкосапфира

2. Структурирование подложек лейкосапфира
Угол разориентации
α
[0001]
Химико-механическая
полировка, отжиг
Террасно-ступенчатые
наноструктуры (ТСН).

3. В процессе структурирования подложки лейкосапфира
проходят этап полировки и этап отжига
Этап отжига в низком
вакууме и на воздухе
Этап полировки
Отжиг в высоком
вакууме.

4. Эпитаксиальный рост оксида цинка
Оксид цинка на
пластине после
полировки
Оксид цинка на
пластине после
отжига на воздухе
Эпитаксиальная
пленка
Эпитаксиальная пленка с
высокой степенью
блочности
Оксид цинка на пластине после отжига
вакууме
Текстура

5. Одноосная эпитаксия оксида цинка
Технология. Катализатор - частицы золота.

6. Формирования частиц золота

7. Одноосная эпитаксия. Начальные стадии роста

8. Одноосная эпитаксия. Вискеры.

9. СПАСИБО ЗА ВНИМАНИЕ!